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[发明专利]不等高梳齿电容式三轴加速度传感器及其制作方法-CN201110190985.5有效
发明人：许高斌 -专利权人： 上海亚尚电子科技有限公司;王长青;杨怀军
申请日： 2011-07-08 - 公布日： 2012-04-04 - 主分类号： G01P15/18 文献下载
摘要：本发明公开一种不等高梳齿电容式三轴加速度传感器及其制作方法，所述传感器包括位于硅衬底上的X、Y轴向加速度的检测单元和Z轴向加速度的检测单元，其中：所述X、Y轴向加速度的检测单元包括：检测X、Y轴向加速度的敏感质量块、L型支撑弹簧梁、等高梳齿差分电容敏感可动梳齿电极对以及固定梳齿电极对；所述Z轴向加速度的检测单元包括：两个用于检测Z轴向加速度的敏感质量块、一字型支撑弹簧梁以及不等高梳齿差分电容敏感电极对。本发明使用三个独立的敏感单元和不等高梳齿差分电容电极结构实现对三轴加速度的无交叉干扰检测。采用MEMS体硅和浅刻蚀工艺，制备工艺的一致性和重复性好，有较高的检测灵敏度、可靠性和稳定性。
不等梳齿电容式三轴加速度传感器及其制作方法

[发明专利]面向集成电路检测的计算机辅助管理装置及方法和系统-CN201110064864.6有效
发明人：杨怀军;温任华;王长青 -专利权人： 上海亚尚电子科技有限公司
申请日： 2011-03-17 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供一种面向集成电路检测的计算机辅助管理装置，其特征在于，包括如下装置：工作台控制装置，其用于调整工作台的垂直位置以及水平位置；托盘控制装置，其用于调整托盘的水平度；光源控制装置，其用于控制光源使测量区域灰度值落在目标灰度值的容许波动范围内；图像采集装置，其用于放大并采集被观测物图像；尺寸测量装置，其用于根据所述被观测物图像输出几何尺寸信息。还提供相应的方法和系统。本发明通过采集被测物体图像后生成灰度曲线，然后根据灰度曲线自动确定被检测物图像的发生位置与结束位置，因此避免了因为人工点选位置而导致精度不高的问题。
面向集成电路检测计算机辅助管理装置方法系统