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[发明专利]RF MEMS开关及其制备方法-CN200910263942.8有效
发明人：胥超;徐永青 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2009-12-30 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种RF MEMS开关及其制造方法，应用于微机电开关领域，其结构包括：带绝缘层的衬底，形成在衬底上的信号传输线和下电极，信号传输线上依次沉积的介质层和悬浮金属，锚固连接于下电极上的桥式金属电极；桥式金属电极与悬浮金属相对且有间隙地设置，信号传输线位于两个下电极之间；关键在于：在衬底上两个下电极之间且在信号传输线两侧制备有覆有介质层的驱动电极。采用此结构设置避免了直流偏压作用造成的电弧效应，解决了悬浮金属和桥式金属电极的触点处由于金属融化、粘连使开关失效的问题，从而延长了开关的使用寿命。
rf mems 开关及其制备方法

[发明专利]微机电系统开关-CN200910215146.7无效
发明人：王雪峰;K·V·S·R·基肖尔;C·F·凯梅尔;G·S·克莱顿;K·苏布拉马尼安 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2009-12-22 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明提出一种微机电系统开关。该开关包括具有支承表面的基底。提供具有凹口的促动表面以及具有延长部分的电接触表面。所述延长部分设置在凹口内。梁附接在基底上。梁包括构造成随着促动而弯曲并且与延长部分的至少一部分接触并且运送电流通过的可促动自由端。
微机系统开关

[实用新型]一种欧姆接触式射频开关-CN200820233705.8有效
发明人：刘泽文;侯智昊;李志坚;刘红超 -专利权人：清华大学;上海得倍电子技术有限公司
申请日： 2008-12-19 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种欧姆接触式射频开关，包括信号电极、下电极、衬底及固定端固支于所述信号电极的悬臂梁，还包括斜拉梁，所述斜拉梁与所述悬臂梁的自由端连接，并通过锚点固支于所述衬底。采用本实用新型的技术方案，在RF开关的悬臂梁自由端加入斜拉梁，形成非对称桥式结构，使之同时具备金属膜桥式电容耦合RF开关对应力敏感度低和悬臂梁欧姆接触式RF开关可应用于较低频段的优点，从而提高欧姆接触式开关的成品率和可靠性。
一种欧姆接触射频开关

[发明专利]基于微机电系统的开关-CN200780053364.4有效
发明人： W·J·普雷默拉尼;K·苏布拉马尼安;C·F·凯梅尔;K·A·奥布赖恩;J·N·帕克 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2007-06-20 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：公开了一种电流控制装置。该电流控制装置包括与电流路径整体地布置的控制电路，以及设置在电流路径中的至少一个微机电系统(MEMS)开关(20)。该电流控制装置还包括与所述至少一个MEMS开关并联的混合式无电弧限制技术(HALT)电路，帮助所述至少一个MEMS开关的无电弧断开，以及与所述至少一个MEMS开关并联的脉冲辅助接通(PATO)电路(52)，帮助所述至少一个MEMS开关的无电弧闭合。
基于微机系统开关

[发明专利]微机械式开关结构-CN200910308839.0有效
发明人：戴庆良;高斌栩;吕柏纬;莫启能;傅渼棋;黄明伟 -专利权人：华映光电股份有限公司;中华映管股份有限公司
申请日： 2009-10-26 - 公布日： 2010-05-26 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械式开关结构，包括源极、汲极、驱动下电极、浮动电极组以及金属弹簧部。浮动电极组与源极、汲极以及驱动下电极相对而设，其中浮动电极组包括支撑层、驱动上电极以及讯号电极。讯号电极配置于支撑层上并与驱动上电极电性绝缘。浮动电极组藉由金属弹簧部而架设于二固定端之间。当驱动上电极与驱动下电极为等电位时，浮动电极组悬浮于源极、驱动下电极与汲极上方。当驱动上电极与驱动下电极具有一电压差时，浮动电极组往驱动下电极移动，以使讯号电极同时接触源极与汲极。本发明是一种可避免驱动时的噪声问题，进而提升信号的可靠度，而且使用寿命长的微机械式开关结构，具有较好的市场价值。
微机开关结构

[实用新型]扭转梁电容式射频微机械开关-CN200920306699.9无效
发明人：宋明歆;梅金硕;宋亮;殷景华;王东兴 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2009-07-23 - 公布日： 2010-03-03 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：扭转梁电容式射频微机械开关，它涉及一种电容式射频微机械开关。针对目前电容式射频微机械(RF-MEMS)开关主要采用折叠梁或斜拉梁结构，电容式射频微机械开关存在着驱动电压过大，远远超过CMOS集成电路的标准电压5V问题。衬底的上端面与第一绝缘介质层的下端面连接，第一绝缘介质层的上端面分别与多个信号输出线连接，信号输出线的上端面与锚的下端面连接，悬臂梁由制成一体的挠度悬臂梁和扭转悬臂梁构成，挠度悬臂梁的一端固定在锚上，挠度悬臂梁的另一端与上电极的下端面连接。本实用新型用于控制高频信号的通断。
扭转电容射频微机开关

[发明专利]一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关-CN200910023602.8无效
发明人：刘泽文;尹明;王政 -专利权人：清华大学
申请日： 2009-08-14 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种利用浮栅电极的双稳态微纳悬臂梁开关，包括衬底1，在衬底1上有一个呈反“Z”型的悬梁臂2，悬梁臂2的一端设置有接触点3，接触点3的下方是信号线4，在悬梁臂2与衬底1之间设置有下控制电极5，通过控制电压的设置，对下控制电极5中的浮栅8进行电子注入和释放，撤去电压时能保持双稳态，具有微型化、成本低、隔离性能好、静态功耗低的优点。
一种利用电极双稳态悬臂梁开关

[发明专利]一种带有浮栅电极的双稳态桥式微机电开关结构-CN200910022792.1无效
发明人：刘泽文;王政;李祥;尹明 -专利权人：清华大学
申请日： 2009-06-02 - 公布日： 2010-02-17 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种带有浮栅电极的双稳态桥式微机电开关结构，利用微加工技术，在衬底表面制作出带有浮栅的桥式开关结构，通过对驱动电压的设置，对浮栅进行电子注入或抽取，从而实现在没有外加电压的情况下，开关能够自行保持闭合或者断开状态即双稳态，实现了双稳态的开关，且静态功耗较小的特点。
一种带有电极双稳态式微机电开关结构

[发明专利]一种金属结构静电驱动MEMS继电器及其制备方法-CN200910091536.8有效
发明人：阮勇;尤政;杨建中;李滨;张高飞;王晓峰;董瑛 -专利权人：清华大学
申请日： 2009-08-25 - 公布日： 2010-02-03 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种金属结构静电驱动的MEMS继电器及其制备方法，属于继电器的设计制造技术领域。其特征在于，该继电器为双端固支形结构，分为上活动极板7和下固定极板4，上活动极板简称上极板和下固定极板简称下极板均为金属，可降低接触电阻。上极板开有阻尼孔9，可减小开关时的阻尼效应，同时也利于牺牲层8释放，保证结构完整，可防止出现结构释放时翻转侧倾失效。下极板采用上部绝缘材料层5和下部绝缘材料层3整体包覆，可以有效防止上、下极板接触后导通并保证上极板与衬底绝缘。本发明MEMS继电器具有驱动电压低、负载电流大的特点，在电子信息、工业控制、能源管理、交通、通讯、航空航天和军用领域中应用广泛。
一种金属结构静电驱动 mems 继电器及其制备方法

[发明专利]低功函数电元件-CN200910165590.2无效
发明人： M·F·艾米;S·E·小韦弗;S·E·雷迪;O·普拉卡什;E·伯克肯 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2009-07-23 - 公布日： 2010-01-27 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：公开电元件。电元件包括至少两个关于彼此在断开位置和闭合位置之间可移动的电触点，其中电触点中的至少一个包括具有小于大约3.5eV的功函数的材料，并且其中处于闭合位置的电触点之间的距离大于0nm并且高达大约30nm。还公开包括多个电开关的器件。
函数元件

[发明专利]一种欧姆接触式射频开关及其集成工艺-CN200810240374.5有效
发明人：刘泽文;侯智昊;李志坚;刘红超 -专利权人：清华大学;上海得倍电子技术有限公司
申请日： 2008-12-19 - 公布日： 2010-01-06 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种欧姆接触式射频开关，包括绝缘材料衬底、下电极，还包括偏置线、金属桥及偏置电阻，所述金属桥的两端跨接在分开的CPW地极上；所述偏置线穿过所述金属桥连接至所述偏置电阻，对所述下电极进行驱动。本发明还对应提出一种欧姆接触式射频开关的集成工艺。本发明的技术方案使用玻璃、陶瓷等绝缘材料作为衬底，利用PECVD工艺制作的非晶硅薄膜作为偏置电阻，实现了偏置电阻的片上集成；同时通过特殊的工艺步骤，实现了欧姆接触式射频开关，使其保持了MEMS器件的可集成、偏置电路简单等优点。
一种欧姆接触射频开关及其集成工艺

[发明专利]机电元件及使用该机电元件的电气设备-CN200880002243.1无效
发明人：内藤康幸 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2008-11-12 - 公布日： 2009-12-16 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明提供一种机电元件及使用该机电元件的电气设备。向机电元件输入高电力的信号时，产生由静电力使可动电极无意地被自动驱动的现象。本发明防止这样的现象，实现可靠性高的机电元件。本发明的机电元件是形成在基板上的机电元件，具有通过可动电极与间隙形成的信号电极与驱动电极。通过在可动电极与驱动电极之间施加引力，能够使可动电极接触信号电极。通过可动电极与驱动电极在高频信号的输入端子侧经由绝缘层进行对置，形成大的静电电容。其结果，由于在输入高电力信号的情况下也会降低可动电极与驱动电极之间的电位差，因此能够实现高可靠性的机电元件。
机电元件使用电气设备

[发明专利]用于驱动开关的方法和装置-CN200780046702.1有效
发明人：德尼斯·埃利斯;雷蒙德·高根 -专利权人：模拟设备公司
申请日： 2007-12-21 - 公布日： 2009-10-21 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：一种驱动具有可移动部件和触点的开关的方法，首先施加(于开关)具有第一电平的第一信号，然后，将具有第二电平的第二信号施加于该开关(在施加第一信号之后)。第一电平大于第二电平。第一和第二信号中的一个或二者导致可移动部件移动，以与触点电连接。
用于驱动开关方法装置

[发明专利]具有导电机械停止器的MEMS微开关-CN200810188424.X有效
发明人： X·王;K·苏布拉马尼安;C·F·凯梅尔;M·F·艾米;K·V·S·R·基肖尔;G·S·克莱顿;O·C·布姆豪尔;P·萨克尔 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2008-12-22 - 公布日： 2009-09-16 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有导电机械停止器的MEMS微开关。MEMS开关30、50、60、70、80包含衬底32、耦接到该衬底32的活动致动器53、63、83，衬底接触35、85，衬底电极36、56、86，和电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触的导电停止器39、59、69、79。
具有导电机械停止 mems 开关

[发明专利]微致动开关-CN200910074022.1无效
发明人：杨卫;张文栋;李艳;王聪;闫俊杰;郭涛;石云波;李杰;秦丽;马喜宏;鲍爱达 -专利权人：中北大学
申请日： 2009-03-24 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及MEMS器件，具体是一种基于凝胶纤维与微胶囊技术的微致动开关。进一步了研发高性能微致动开关，包括开关主体，开关主体包含两侧分别设置有支撑体的底座、通过底座一侧支撑体支悬设置的悬臂梁，悬臂梁下方底座上设有底电极，悬臂梁下表面设有顶电极，底座另一侧支撑体上支悬固定有凝胶纤维，凝胶纤维的自由端固定有置于悬臂梁自由端正下方的滑块，凝胶纤维外涂敷有内为酸性介质的微胶囊涂层；开关主体还包括设置于底座上的：通过弹性梁支悬设置质量块的支撑架、分别位于滑块两侧的两开关柱，两开关柱顶面设有电极，悬臂梁自由端下表面设有电极。结构合理、紧凑，可靠性高，应用范围广，再一次验证了将非硅材料应用于MEMS器件构成中的可行性。
微致动开关