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- [发明专利]一种单晶SiC及其制作方法-CN201410523794.X在审
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段兴
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段兴
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2014-10-08
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2016-05-11
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C30B9/00
- 一种单晶SiC及其制作方法,尤其是有完整单晶SiC结构特性,可以用作面材、薄膜、线材的以单晶SiC为主、复合而成,或者纯单晶SiC组成的单晶及其制作方法,其制作方法由二步组成:网格状、集束状的单晶SiC复合体生成与二次补偿单晶SiC生成。该单晶有完整单晶结构特性,以单晶SiC为主、复合而成,或者纯单晶SiC组成,设备简单,不需要特别条件,成本低、产量大;可二次补偿,缺陷容易控制,质量成品率高;晶圆尺寸不受限制,长度可控,可连续生成,适宜大批量生产。
- 一种sic及其制作方法
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