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[实用新型]一种水平区熔石墨舟专用推杆-CN202122933815.3有效
发明人：房现阁;柯尊斌;王卿伟 -专利权人：中锗科技有限公司
申请日： 2021-11-26 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水平区熔石墨舟专用推杆，包括推杆手柄、推杆、叉头和钩子；推杆一端连接推杆手柄、另一端连接叉头，推杆手柄上与推杆连接一端的侧壁上设有水平泡，推杆手柄和推杆均为直杆状、且同轴心设置，推杆的轴线与叉头的中心线共线；钩子为“1”字形结构，钩子垂直连接在推杆上与叉头连接一端的端部，钩子与叉头所在平面相互垂直。上述装置，操作方便，降低了操作技术难度，能够快速完成装炉作业，节省时间提升了生产效率；可保证各个石英管内的含料石墨舟均处于水平状态，出炉的锭子的厚度保持一致，降低了残次品出现的概率，产品质量得到保障。
一种水平石墨专用推杆

[发明专利]用于半导体晶棒拉晶的区熔炉及拉晶区域熔炼方法-CN202010654962.4有效
发明人：阮秀清;阮秀沧 -专利权人：泉州市依科达半导体致冷科技有限公司
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于半导体晶棒拉晶的区熔炉，包括：固定组件，用于将密封有半导体晶棒（16）的石英管（15）竖直悬空固定；环形的加热组件（14），其设置有一让所述石英管（15）穿过的通孔（141），所述加热组件（14）沿垂直方向的加热厚度为25±3mm；传动组件，用于在所述加热组件（14）工作时带动所述加热组件（14）从所述石英管（15）的底部匀速上升到顶部。本发明还提供一种半导体晶棒的拉晶区域熔炼方法。
用于半导体晶棒拉晶熔炉区域熔炼方法

[发明专利]单晶的制造方法和装置-CN201780047576.5有效
发明人：西冈研一 -专利权人：胜高股份有限公司
申请日： 2017-07-06 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：本发明的课题在于在基于FZ法的硅单晶的制造中防止切换为基于支撑机构的支撑之后产生晶体弯曲。解决方案为，具有：一边使以一点支撑晶种(2)的下端的晶轴(13)旋转，一边使单晶(3)向晶种(2)的上方生长的步骤；在单晶(3)生长为规定的晶体形状的阶段，使支撑机构与单晶(3)的锥形部(3b)的外周面抵接而由基于晶轴(13)的支撑切换为基于支撑机构的支撑的步骤；在完成切换为基于支撑机构的支撑的操作之后，以固定支撑机构的垂直方向的位置的状态使晶轴(13)下降而增强支撑机构对单晶(3)的压入的步骤；和一边以支撑机构支撑单晶(3)一边使单晶(3)生长的步骤。
制造方法装置

[发明专利]在根据FZ方法结晶单晶期间支撑生长单晶的方法-CN201510532939.7有效
发明人： K·尼德雷尔;H·泰罗德;J·贝格尔;G·迈斯特恩斯特;F·穆姆勒;S·齐特泽尔斯伯格 -专利权人：硅电子股份公司
申请日： 2015-08-27 - 公布日： 2018-07-17 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：一种在根据FZ方法结晶单晶期间经由支撑本体在单晶的锥形区段的区域中支撑生长单晶的方法。所述方法包括在支撑本体的第一材料变软的温度下使支撑本体压靠生长单晶的锥形区段，并且继续使支撑本体压靠生长单晶的锥形区段，直到所述第一材料和支撑本体的在所述温度下仍然硬的第二材料触碰生长单晶的锥形区段。
单晶锥形区段支撑生长第一材料压靠第二材料中支撑变软触碰

[实用新型]一种用于区熔更换籽晶夹头的装置-CN201521091587.8有效
发明人：付斌;闫志瑞;王学锋;方峰;李青保;王来福;赵洋 -专利权人：有研半导体材料有限公司
申请日： 2015-12-24 - 公布日： 2016-06-29 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于区熔更换籽晶夹头的装置，包括两个籽晶夹头、一个内轴以及籽晶夹头连接杆；其中，该内轴与籽晶夹头连接杆固定连接，两个籽晶夹头内部分别设置用于容置内轴轴头的内轴轴头运行槽；两个籽晶夹头分别通过轴承连接在籽晶夹头连接杆上，并形成固定角度；该轴承在与内轴延长杆相对一侧设有挡片；该装置还包括一拨片，该拨片设置在炉体内部；内轴旋转时，该拨片可与挡片相互作用。本实用新型采用可旋转式双籽晶夹头，并通过挡片与可伸缩式拨片之间的相互作用为籽晶夹头的旋转提供动力，在缩细颈失败后，不用拆装炉等一系列步骤即可重复缩细颈过程，简易灵活，且不影响其他操作步骤。
一种用于更换籽晶夹头装置

[实用新型]一种区熔炉下轴旋转机构-CN201420053570.2有效
发明人：傅林坚;曹建伟;王丹涛;陈明杰;石刚;汤承伟;欧阳鹏根;邱敏秀;蒋庆良 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2014-01-27 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及非金属晶体的制造设备，旨在一种区熔炉下轴旋转机构；本实用新型包括托盘、下轴、直驱电机和连接盘；所述直驱电机包括电机座和旋转轴，旋转轴安装于电机座内，旋转轴内设有贯通孔，所述下轴位于旋转轴的贯通孔内；所述托盘与电机座之间、旋转轴与连接盘之间以及连接盘与下轴之间固定连接；其有益效果是：直驱电机通电后，通过旋转轴直接带动下轴旋转，避免了键槽和皮带的间隙，从根本上解决了传统区熔炉中正反转拉晶时的停顿问题，可实现稳定的下轴正反转，满足正反转拉晶技术要求。
一种熔炉旋转机构

[实用新型]一种区熔炉的内轴运动装置及主轴运动装置-CN201320224120.0有效
发明人：周鹏;包娜娜;张继宏 -专利权人：北京京运通科技股份有限公司
申请日： 2013-04-27 - 公布日： 2013-11-06 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及区熔炉技术领域，特别涉及一种区熔炉的内轴运动装置及主轴运动装置，用于提高内轴的运动精度，从而提高区熔炉引晶的成功率。本实用新型公开了一种区熔炉的内轴运动装置，包括：内轴；位于区熔炉内的下滑座上，用于驱动内轴升降运动的伺服缸组件；两端分别与内轴和伺服缸组件的伸缩杆固定连接的内轴连接杆组件。在本实用新型中，利用伺服缸组件精确控制内轴的升降运动，提高内轴的运动精度，进而提高区熔炉引晶的成功率。本实用新型同时还公开了一种区熔炉的主轴运动装置，包括具有上述技术特征的内轴运动装置。
一种熔炉运动装置主轴

[实用新型]一种区熔单晶炉的传动装置-CN201220506329.1有效
发明人：周鹏;张继宏;徐振斌;王军 -专利权人：北京京运通科技股份有限公司
申请日： 2012-09-28 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种区熔单晶炉的传动装置，涉及传动装置技术领域，为能够提高产品的成品率而设计。所述传动装置包括顶板和底板，所述顶板和所述底板之间设有呈矩形排布的四个导柱，所述导柱之间设有丝杆，所述丝杆的一端轴接在所述顶板上、另一端穿过所述底板后与减速箱的输出轴连接，所述减速箱的输入轴与电机连接，所述丝杆上的丝杆螺母固定连接有与所述四个导柱滑动配合的滑座，所述滑座的中心部上设有主轴，所述导柱的上端固定在所述顶板上、下端连接在所述底板上，且所述导柱的下端与所述底板的连接位置可调。
一种区熔单晶炉传动装置

[发明专利]一种用于区熔炉的内轴运动装置-CN201210338650.8有效
发明人：周鹏;张继宏;徐振斌;王军 -专利权人：北京京运通科技股份有限公司
申请日： 2012-09-13 - 公布日： 2013-02-06 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：本发明涉及内轴运动装置，特别涉及一种用于区熔炉的内轴运动装置，其特征在于，包括：外轴，其里侧有内孔；固定导向套，其与外轴内孔固定；轴承座，其位于固定导向套的下端，内装有调心球轴承；内轴，其穿过固定导向套与轴承座上端连接；滚珠花键轴，其与轴承座下端连接；滚珠丝杠轴，其上端与滚珠花键轴连接，下端与旋转同步带连接；其中，内轴的旋转由外轴的旋转驱动。本发明中当一台电机带动外轴旋转时，内轴随之旋转；另一台电机驱动旋转同步带进而带动滚珠丝杠轴转动，滚珠丝杠轴将转动变成直线运动，使滚珠花键轴移动，带动内轴轴向直线移动。本发明通过增加阻尼以减小震动，提高内轴运动的稳定性，改善内轴和外轴的同心度，更有利于成晶。
一种用于熔炉运动装置

[实用新型]一种电控螺旋升降的拉晶炉-CN201120285452.0有效
发明人：刘宝成 -专利权人：河南恒昌电子有限公司
申请日： 2011-08-08 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种拉晶炉，应用于半导体制造领域。一种电控螺旋升降的拉晶炉，包括炉体支架和卡盘，卡盘在炉体支架的上方，其特征是：在卡盘上固定有多个穿过炉体支架的第一螺旋杆，在炉体支架下方有电机连接的第二螺杆，所述的第二螺杆和第一螺杆螺纹连接，这样结构的拉晶炉具有精度更高、容易控制、运行平稳的优点。
一种螺旋升降拉晶炉

[实用新型]一种区熔法生长单晶硅用带安全防护装置的机械装料装置-CN200920277916.6有效
发明人：韩海建;梁书正;赵洋;谷宇恒;闫志瑞 -专利权人：北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司
申请日： 2009-12-10 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：一种区熔法生长单晶硅用带安全防护装置的机械装料装置，它包括：基座(5)，基座上设有立柱(2)，机械手臂(3)通过套筒(3-1)与立柱配合，套筒与液压机构(1)的传送带的一端连接，机械手臂端部设有夹持手爪(4)、机械手臂的下部装有金属篮筐(6)，本装置还包括使立柱旋转的传动机构I、使机械手臂在垂直方向上、下移动的液压升降机构，以及使夹持手爪相对于手臂旋转的传动机构II、使夹持手爪闭、合的连杆机构。本实用新型的优点是：该装置不仅可以方便的拆装大重量多晶棒，而且安全性高，可以用于50公斤以上的多晶棒的拆装。
一种区熔法生长单晶硅安全防护装置机械装料

[发明专利]用于制造单晶棒的设备和方法-CN200480004015.X有效
发明人： L·延森;J·E·彼得森;P·瓦本加德 -专利权人：托普西尔半导体原料公司
申请日： 2004-02-06 - 公布日： 2006-03-15 - 主分类号： C30B13/32 文献下载
摘要：一种用于由多晶馈送棒(3)制造单晶棒(2)的设备(1)，所述设备(1)包括一个封闭的腔室(4)，馈送棒(3)位于该腔室(4)中，所述腔室(4)包括一个围绕馈送棒(3)设置的环形的能量供应装置(5)，用于使该棒的一端(23)熔融，用以制备单晶体，所述设备包括用于馈送棒(3)的轴向移动的第一移动装置(6)、和用于馈送棒(3)和环形能量供应装置(5)之间的相对旋转运动的第二移动装置(7)。该设备(1)包括：一个监视系统(8)，用于记录馈送棒(3)的表面(9)和与能量供应装置(5)相关的环形径向向内的参照面之间的距离；以及一个用于调整距离的第三移动装置(10)。因此，实现了能够用于不规则馈送棒的设备和方法，所述不规则馈送棒呈现出除理想的圆柱形形状之外的其它形状，所述设备和方法还能够用于具有不规则表面的弯曲的圆柱形和椭圆形的棒。
用于制造单晶棒设备方法

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