[发明专利]IC试验装置

说明书

本发明涉及用于把半导体集成电路器件(以下，简称为IC)进行试验的IC试验装置，特别是涉及转位时间短生产率高的IC试验装置。

在被称为信息处理机(handler)的IC试验装置中，把收容在托盘内的多个IC传送到试验装置内，使IC电接触试验头，在IC试验装置本体(以下，也称为试验机)中进行试验。而且，如果试验结束则从试验头搬出各IC，分别放入到与试验结果相对应的托盘中，由此进行所谓合格品与不合格品类别的区分。

在以往的IC试验装置中，收容试验前的IC或者收容试验完毕的IC的托盘(以下，也称为标准托盘)与在IC试验装置内循环传送的托盘(以下，也称为试验托盘)是不同的种类，在这样的IC试验装置中，在试验的前后，在标准托盘与试验托盘之间要进行IC的换载。另外，在使IC接触试验头进行试验的试验工艺中，IC在搭载到试验托盘的状态下被压向试验头。

在这样的IC试验装置中，其处理速度或者单位时间的处理个数(称为信息处理机的生产率)用转位时间以及试验速率这样的评价值进行性能评价。

即，如图19所示，所谓试验速率指的是从信息处理机侧输出开始请求信号到输出下一个开始请求信号的最短时间，所谓转位时间，指的是从试验机侧传送来试验结束信号开始到移动试验托盘，把下一个IC设置到触点，信息处理机侧输出开始请求信号为止的试验头中所需要的时间。即，如图19所示，从开始请求信号到下一个开始请求信号的时间由于是试验时间和转位时间之和，因此信息处理机的处理速度由该试验时间和转位时间之和支配。从而，在IC试验装置中，越缩短转位时间则将越提高信息处理机的生产率。

在以往的IC试验装置的信息处理机中，从试验机传送来试验结束信号后，开始移动试验托盘，在把IC搭载到试验托盘的状态下把下一个IC设置到触点上，因此转位时间中增加了试验托盘的移动时间部分，存在信息处理机的生产率恶化的问题。

另外，由于上述的试验托盘在信息处理机的内部循环传送，因此为了使得IC不从试验托盘上落下来而在IC上设置夹子等的固定装置，然而在与标准托盘的换载时卸下这样的夹子的操作必需一个一个的进行，这也构成加长转位时间的原因。

作为其它的问题，以往的IC试验装置的试验托盘由于在恒温室的内部和外部之间处理，因此从反应室外部搬入到反应室内部的试验托盘达到预定的温度为止花费多余的时间(升温或者降温)，这也构成加长转位时间的原因。

本发明是鉴于以往技术的问题点而产生的，目的在于提供转位时间短，生产率高的IC试验装置。

(1-1)为达到上述目的，依据本发明的第1个观点，提供IC试验装置，该装置的特征在于具有把被搬入到试验工艺的第1位置的被试验IC传送到试验头的触点进行了试验以后，把上述被试验IC从该触点取出的第1传送装置；把被搬入到上述试验工艺的第2位置的被试验IC传送到上述触点进行了试验以后，把上述被试验IC从该触点取出来的第2传送装置。

本发明中，由于具有把被试验IC从第1位置传送到试验头的触点的第1传送装置，从第2位置向试验头的触点传送的第2传送装置，因此对于试验头的触点，通过2个传送装置的每一个传送被试验IC。

从而，如果进行处理使得在用一个传送装置把被试验IC进行试验期间用另一个传送装置传送被试验IC，则第1或者第2位置中的被试验IC的保持时间被吸收到另一个IC的试验时间中，另外，被试验IC从第1以及第2位置向触点的传送时间被吸收到从其它的触点的取出的时间中，因此能够缩短与其部分相当的转位时间。

(1-2)即，在上述发明中虽然没有特别的限定，然而作为第1以及第2传送时间的传送装置的动作方法，最好是上述一方的传送装置把被试验IC传送到上述触点进行试验的同时，上述另一方的传送装置从上述触点取出试验完毕的被试验IC并且保持下一个被试验IC。

特别是，在上述一方的传送装置把被试验IC传送到上述触点部分进行试验的期间，上述另一方的传送装置从上述触点取出试验完毕的被试验IC，保证下一个被试验IC进行待机。

通过这样做，第1或者第2位置中的被试验IC的保持时间被吸收到另一个IC的试验时间中，被试验IC从第1或者第2位置向触点的传送时间被吸收到从另一方的触点的取出时间中，因此能够缩短与其部分相当的转位时间。由于这样的被试验IC的保持时间和传送时间占据转位时间的主要部分，因此其缩短效果显著。