[发明专利]IC试验装置

权利要求书

1．一种IC试验装置，其特征在于具有：

把被搬入到试验工艺的第1位置中的被试验IC传送到试验头的触点进行了试验以后，把上述被试验IC从该触点取出的第1传送装置；

把被搬入到上述试验工艺的第2位置的被试验IC传送到上述触点进行了试验以后，把上述被试验IC从该触点取出的第2传送装置。

2．如权利要求1中记述的IC试验装置，其特征在于：

上述一方的传送装置把被试验IC传送到上述触点进行试验的同时，上述另一方的传送装置从上述触点取出试验完毕的被试验IC并且保持下一个被试验IC。

3．如权利要求1或2中记述的IC试验装置，其特征在于：

上述第1位置和上述第2位置分别设置在上述触点的两侧，

上述第1传送装置在上述第1位置和上述第2位置之间往复移动的同时，上述第2传送装置在上述第2位置和上述触点之间往复移动。

4．如权利要求3中记述的IC试验装置，其特征在于：

沿着上述第1位置、上述触点以及上述第2位置的延伸方向，使用相同的驱动装置驱动上述第1以及第2传送装置。

5．如权利要求4中记述的IC试验装置，其特征在于：

还包括把上述被试验IC与上述触点相对地按压在一起的按压装置。

6．如权利要求1至5的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于：

上述第1以及第2传送装置包括以与多个触点的设定节距相同的节距设置的保持被试验IC的多个保持装置。

7．如权利要求6中记述的IC试验装置，其特征在于：

还具有把多个被试验IC以任意的节距从第3位置搬入到上述第1或第2位置的第3传送装置，

使被搬入到该上述第1以及第2位置的被试验IC以被试验IC的搭载节距移动的移动装置。

8．如权利要求1～7的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于：

还具有把从上述触点取出的上述被试验IC传送到第4位置的第4传送装置。

9．如权利要求8中记述的IC试验装置，其特征在于：

还具有把该搬入到上述第4位置的上述被试验IC传送到第5位置的第5传送装置。

10．如权利要求1～9的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于：

上述试验工艺设置在向上述被试验IC施加温度应力的反应室内。

11．如权利要求10中记述的IC试验装置，其特征在于：

搭载上述被试验IC的托盘在上述反应室内循环传送。

12．如权利要求1～11的任一项中记述的IC试验装置，其特征在于：

能够选择上述被试验IC仅由上述第1或者第2传送装置的任一个传送的路径或者由上述第1以及第2传送装置的双方传送的路径。

13．一种IC试验装置，在具备保持被搬入到第6位置的被试验IC并且传送到第7位置的第6传送装置以及把搬入到上述第7位置的上述被试验IC传送到第8位置的第7传送装置的IC试验装置中，特征在于：

上述第6以及第7传送装置配置在相互不同的水平位置上，

还具有把被搬入到上述第7位置的上述被试验IC从上述第6传送装置的水平位置传送到上述第7传送装置的水平位置的第8传送装置。

14．如权利要求13中记述的IC试验装置，其特征在于：

上述第6位置是试验完毕的被试验IC从试验头的触点取出的位置，上述第7位置是缓冲部件，上述第8位置是设置了托盘的位置。

15．如权利要求13或14中记述的IC试验装置，其特征在于：

分别设置多个上述第7以及第8传送装置。

16．如权利要求15中记述的IC试验装置，其特征在于：

在上述第6传送装置把被试验IC向上述第8传送装置的一方传送的期间，上述第7传送装置把被搬入到另一个第8传送装置的被试验IC传送到上述第8位置。