[发明专利]中空微纤维及其制造方法

权利要求书

1.中空碳微线圈，所述的碳微线圈完全紧密地彼此粘接。

2.中空陶瓷微线圈，其中根据权利要求1的中空碳微线圈的部分或全部含有金属氮化物、金属碳化物或金属碳氮化物。

3.如权利要求2所述的中空陶瓷微线圈，其经气相喷镀金属、硅化、硼化或氧化处理。

4.如权利要求2或3所述的中空陶瓷微线圈，其中形成相邻线圈部分的部分或全部融合粘接在一起。

5.采用催化活化CVD气相合成如权利要求1的中空碳微线圈的制造方法，其中随着微线圈的生长将基板向下移动，这样使碳微线圈非常致密、规则地卷绕，因此碳微线圈的核心变成中空。

6.制造如权利要求2的中空陶瓷微线圈的方法，其中在高达700-1800℃的温度下，在含有金属原子的气体中，将中空碳微线圈或中空碳纤维进行气相喷镀金属或碳化处理，以使其部分或全部被金属化。

7.如权利要求6所述的中空陶瓷微线圈的制造方法，其中气体为含氮原子的气体。

8.如权利要求6或7所述的中空陶瓷微线圈的制造方法，其中在含有金属、硅、硼、碳和/或含氧气体的气体中，在高温下进行气相喷镀金属、硅化、硼化、碳化和/或氧化处理。

9.如权利要求6-7中任意一项所述的制造中空陶瓷微线圈的方法，其中形成相邻线圈的微线圈部分的部分或全部融合粘接在一起。

10、如权利要求8的制造中空陶瓷微线圈的方法，其中形成相邻线圈的微线圈部分的部分或全部融合粘接在一起。