[发明专利]喷墨头基片、喷墨头、喷墨装置和制造喷墨记录头的方法

权利要求书

1.一种用于喷墨记录头的基片，具有许多产热元件，用于产生供排墨用的热能，

所述产热元件由具有4000μΩ·cm或更小的电阻率的薄膜制成，所述薄膜用由Ta_xSi_yR_z表示的材料制成，其中R是从C、O、N当中选取的一种或几种元素，且x+y+z＝100。

2.如权利要求1所述的用于喷墨记录头的基片，其中关于产热元件，y/(x+y)为4至35原子％。

3.如权利要求1所述的用于喷墨记录头的基片，其中所述产热元件由Ta_xSi_yN_z制成，其中x＝20至80原子％，y＝3至25原子％，

z＝10至60原子％。

4.如权利要求3所述的用于喷墨记录头的基片，其中所述产热元件由Ta_xSi_yN_z制成，其中x＝30至60原子％，y＝3至15原子％以及

z＝30至60原子％

5.如权利要求1所述的用于喷墨记录头的基片，其中所述产热电阻层至少由Ta-Si-N膜构成，从而形成层迭结构，其中具有积热层/产热电阻层/其间具有产热电阻层的保护层，并且其它的每一层由这样的材料构成，所述材料至少具有所述产热电阻层的结构原子中的一种原子，作为其结构原子。

6.一种喷墨记录头，具有用于排放油墨的油墨排放口，用于产生供排墨用的热能的许多产热元件，和其中包括所述产热元件的，并同时和所述油墨排放口相通地连接的油墨流动通路，

所述产热元件由电阻率值为4000μΩ·cm或更小的薄膜制成，所述薄膜由用Ta_xSi_yR_z表示的材料制成，其中R是从C、O、N当中选取的一种或几种元素，且x+y+z＝100。

7.如权利要求6所述的喷墨记录头，其中关于所述产热元件，y/(x+y)等于4至35原子％。

8.如权利要求6所述的喷墨记录头，其中所述产热元件由Ta_xSi_yN_z制成，其中x＝20至80原子％，y＝3至25原子％，z＝10至60原子％。

9.如权利要求8所述的喷墨记录头，其中所述产热元件由Ta_xSi_yN_z制成，其中x＝30至60原子％，y＝3至15原子％，z＝30至60原子％。

10.如权利要求6所述的喷墨记录头，其中所述产热电阻层至少由Ta-Si-N膜构成，从而形成层迭结构，该层迭结构具有积热层/产热电阻层/其间具有产热电阻层的保护层，并且其它的每一层由这样的材料制成，该材料具有所述产热电阻层的结构原子当中的至少一种原子，作为其结构原子。

11.如权利要求6所述的喷墨记录头，其中油墨被保持在所述油墨流动通路中，并且同时所述产热元件向油墨提供大于使膜沸腾的热能，从而排放油墨。

12.一种喷墨记录装置，它具有：

喷墨记录头，它具有用于排放油墨的油墨排放开口，用来产生供排墨使用的热能的许多产热元件，以及其中包括所述产热元件，同时又和所述油墨排放开口相通地连接的油墨流动通路，以及

承载装置，用来承载接收从所述喷墨记录头的记录头排出的油墨的记录介质，

所述产热元件由电阻率值为4000μΩ·cm或更小的薄膜制成，所述薄膜由用Ta_xSi_yR_z表示的材料制成，其中R为从C、O、N当中选取的一种或几种元素，且x+y+z＝100。

13.一种用于制造喷墨记录头的方法，所述喷墨记录头具有用于排放油墨的油墨排放开口，用于产生供排墨所用的热能的许多产热元件，以及其中包括所述产热元件并同时和所述排放油墨开口相通地连接的油墨流动通路，

所述产热元件使用由Ta-Si制成的合金靶，并且通过在至少具有氮气、氧气、碳气和氩气的混合气体的环境中利用反应溅射系统形成。