[发明专利]喷射沉积设备

权利要求书

1．一种喷射沉积设备，包括坩埚、喷嘴、基体、雾化室、排气管、传动装置、内冷装置，其特征在于：还有连接板和控制连接板运动的运动控制装置、冷却沉积物的外强冷装置，与坩埚连成一体的喷嘴和外强冷装置的导管均穿过连接板，并紧固在连接板上。

2．根据权利要求1所述的喷射沉积设备，其特征在于：喷嘴与基体的喷射距离为150～200mm，雾化气压为1.0～1.2MPa，喷嘴出口径2.8～3.0mm，坩埚的运动频率用1/10-1/6Hz，基体运动频率用1/40～1/30Hz，且坩埚移动的频率同基体运动频率不成倍数关系。

3．根据权利要求1或2所述的喷射沉积设备，其特征在于：外强冷装置中的冷却介质为液氮或惰性气体。

4．根据权利要求1或2所述的喷射沉积设备，其特征在于：坩埚沿基体母线作往复直线运动，外强冷装置的导管喷口开于基体下方，正对喷嘴。

5．根据权利要求1或2所述的喷射沉积设备，其特征在于：坩埚沿基体平行边作住复直线运动，外强冷装置的管喷射口位于喷嘴两侧，运动过程中，外强冷装置的导管喷射口与喷嘴的相对位置下变。

6．根据权利要求1或2所述的喷射沉积设备，其特征在于：连接板上有多组坩埚、喷嘴和外强冷装置的导管喷射口。