[实用新型]自动显示的激光刀口仪无效
| 申请号: | 93225155.2 | 申请日: | 1993-02-11 |
| 公开(公告)号: | CN2147525Y | 公开(公告)日: | 1993-11-24 |
| 发明(设计)人: | 傅恩生;伊景荣 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人: | 李兰英 |
| 地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 自动 显示 激光 刀口 | ||
本实用新型是自动显示的激光刀口仪。适用于光学元件和光学系统的像差(如球差、彗差和像散等)检测、图形和数据记录、处理、打印和存盘。特别适用于大型空间望远镜、天文望远镜高精度的抛光面型的检测。
已有的技术,如天津光学精密仪器厂生产的WS-4型刀口仪,含有白炽灯光源,刀头主体和纵向、横向和高度调节测微鼓轮。刀头主体上含有光栏片、刀片等元件。这种刀口仪也能测量光学元件和光学系统的像差,也能高精度地检测大型球面镜的波面误差。主要缺点是:1.用人眼观察反射阴影图,受主观因素影响很大;2.用白炽灯光源照明,检测含有透镜的光学系统必须用滤光片滤光得到单色光,再进行检测,否则有色差影响检测;3.没有客观记录的测量数据和图形,不适合现代科学管理的要求;4.用白炽灯作光源发热严重,不能持续使用时间太长,且灯泡易损坏,影响测试。
本实用新型的目的为了克服上述已有技术的缺点,采用单色的长寿命的光源,消除色差和测量者主观因素的影响,能自动显示和记录测量的客观结果,可实现定量的测量,使用方便。
为便于描述本新型的结构,先进行附图的图面说明。图1为本新型的自动显示激光刀口仪的结构示意图。
本实用新型的激光刀口仪是由反射镜1、刀头主体2、聚光镜3、作为单色光源的激光器4、刀口仪调整支架5、激光器电源6、探测器7和自动显示记录系统8所构成。如图1所示。
上述所说的作为单色光的光源激光器4,最好采用发射可见光束的激光器,如可见光半导体激光器,光束可见、调整方便、体积又小。又如He-Ne激光器也可以。所说的探测器7最好采用列阵式探测器,如硅相机列阵探测器。所说的自动显示和记录系统8是微机和打印机、或者是计算机和打印机,或者是示波器和照相机。
本实用新型的优点是:
(1)直接用单色光激光器作光源,与已有技术相比,既消去了用滤光片的麻烦,又消除了色差的影响,而且体积小,消除了白炽灯发热严重、寿命短的缺点。
(2)由探测器接收到阴影图,通过自动显示和记录系统,可以记录和显示测量的客观结果,消除了用测量者观察结果的主观因素的影响。
(3)使用本新型的激光刀口仪,可以实现定量的测量,同时操作方便、可靠,获得数据精度高,可以永久保留。
实施例1.
激光刀口仪的整体结构如图1所示。激光器4采用AlGaInP/GaInPDH型可见光半导体激光器,激光波长为670nm,输出连续波功率大于3mv。探测器7选用硅相机列阵,美国Spiricon公司生产的CID2250型,面积为7.5mm×7.68mm,垂直方向有500个单元,水平方向有512个单元,总共有256000个探测单元,每个单元的尺寸为15μm×15μm,灵敏度18~20mW/cm2。自动显示和记录系统8采用AST386/33型微机和普通打印机。
实施例2.
激光刀口仪的具体结构如图1所示。单色光源的激光器4选用He-Ne激光器,激光波长为632nm,输出功率大于1mW,其他元器件如实拖例1.。
使用本实用新型的实拖例1或2其测量结果的精度可达λ/20~λ/100。
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