[其他]隔离型防腐差压传感器

权利要求书

1、一种隔离型防腐差压传感器，其特征是由正引压头1、隔离膜1②、螺钉3、衬环1(4)、外壳5、胶圈6、敏感芯片7、垫片8、绝缘子9、锁紧环10、防震帽11、密封体12、衬环2(13)、隔离膜2(14)、负引压头15、内引线16、引线帽18、导线19、密封圈20、引线座21和基座23组成，其基座23的正面制有一凹台凹槽，凹槽的中部制有一过液孔道，并且在过液孔道上制有一注液孔道，隔离膜1(2)位于基座的凹台上，衬环1(4)则位于隔离膜的边上，并且和隔离膜、基座一同焊接为一体而使基座内形成腔，正引压头1则采用丝扣焊接与基座连为一体；敏感芯片7位于两个胶圈6之间，并且带有敏感芯片的胶圈的一面位于基座的过液孔道的上端部，另一面上则垫有垫片8，锁紧环10采用丝扣将肢圈、敏感芯片和垫片一同固紧在基座上，防震帽11则位于锁紧环的当中并且和锁紧环、其座粘接，内引线16的一端与敏感芯片连接，另一端与绝缘子9连接，并且经绝缘子和导线19连接后通过引线座21而引出外壳5，绝缘子则安装在基座上；在密封体12的正面制有一凹台凹槽，凹槽的中部制有一过液孔道，并且在过液孔道上制有一注液孔道，隔离膜2(14)位于密封体的凹台上，而衬环2(13)位于隔离膜的边上，并且和隔离膜、基座一同焊接为一体而使密封体内形成腔，密封体则采用丝扣焊接与基座的另一端连为一体，而负引压头15则同样采用丝扣焊接与密封体的另一端焊为一体；外壳5为L形，采用螺钉3与正引压头的尾部连接，引线座21则粘接在外壳上，密封圈20位于引线座的引线孔上，引线帽18则与引线座旋接将密封圈和导线固紧密封。

2、根据权利要求1所述的隔离型防腐蚀差压传感器，其特征是：基座23内的腔和密封体12内的腔为体积相等的腔，注入基座腔中的硅油和注入密封体腔中的硅油比为等比，其误差应小于5％。

3、根据权利要求1所述的隔离型防腐差压传感器，其特征是：位于敏感芯片两侧的基座腔和密封体腔的硅油注入方法是：首先将用丝扣焊接为一体的基座、密封体浸入装有硅油的容器内，硅油将基座、密封体全部埋没，然后将容器放入真空塔中，开机抽真空，使得基座腔内和密封体腔内的空气及硅油中的空气抽干净后，关掉真空机，此时，硅油便自行注入腔中，最后用销钉（22，17）分别销入基座腔和密封体腔的注液孔道内封口密封即可。