[其他]溅射源用的充气器

权利要求书

1、一种能向阴极靶表面和工件表面分别喷射工作气体和活性气体的磁控溅射源用的充气器，其特征在于构成该充气器的工作气体充气器A和活性气体充气器B安装在溅射头底盘[6]上，分别向靶面和工件[16]表面喷射工作气体和活性气体。

2、按照权利要求1所述的充气器，其特征在于所述的溅射头底盘〔6〕上开有一个布置进气管〔2〕的通孔，一个布置进气管〔10〕的竖向深孔，一个与该竖向深孔相通的径向深孔，围绕上述通孔和竖向深孔分别布置若干个螺孔。

3、按照权利要求1所述的充气器，其特征在于所述的工作气体充气器A包括一个上端面开有一个用于布置O型密封圈〔5〕的环形槽、轴向开有一个中心通孔以及围绕中心通孔布置若干个通孔的小法兰〔1〕，一个焊接在小法兰〔1〕的中心通孔上的进气管〔2〕，一个气管〔4〕，以及一个连接进气管〔2〕和气管〔4〕的针阀〔3〕

4、按照权利要求2和3所述的充气器，其特征在于所述的工作气体充气器A通过固定螺钉固定在溅射头底盘〔6〕上。

5、按照权利要求1和2所述的充气器，其特征在于所述的活性气体充气器B包括一个上端面开有一个用于布置O型密封圈〔13〕的环形槽、轴向开有一个中心通孔以及围绕中心通孔的若干个通孔的小法兰〔9〕，一个焊接在小法兰〔9〕中心通孔的进气管〔10〕，一个气管〔12〕，一个连接进气管〔10〕和气管〔12〕的针阀〔11〕，一个同溅射头底盘〔6〕径向深孔相连接的导气管〔14〕，以及一个同导气管〔14〕相连接、布置在工件〔16〕周围的喷气环〔15〕，喷气环〔15〕开有若干个能将活性气体喷向工件〔16〕表面的喷气孔，小法兰〔9〕通过固定螺钉固定在溅射头底盘〔6〕上。

6、按照权利要求1所述的充气器，其特征在于所述的工作气体充气器A经针阀〔3〕调节的工作气体经过进气管〔2〕，从屏蔽罩〔7〕内侧四周的间隙喷向阴极靶〔8〕的表面。

7、按照权利要求1所述的充气器，其特征在于所述的活性气体充气器B通过针阀〔11〕调节的活性气体经过进气管〔10〕、导气管〔14〕、从喷气环〔15〕的喷气孔喷向工件〔16〕的表面。