[其他]新型等离子体成像仪无效
| 申请号： | 86210073 | 申请日： | 1986-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN86210073U | 公开（公告）日： | 1987-10-07 |
| 发明（设计）人： | 周岳亮;顾世杰;陈正豪;吕惠宾;马小娟;刘宝秀;刘鸿兴;崔大复 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所;北京安全局微技术研究所 |
| 主分类号： | H01J37/00 | 分类号： | H01J37/00 |
| 代理公司： | 中国科学院专利事务所 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 北京市6*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 新型 等离子体 成像 | ||
【权利要求书】：
1、一种新型的等离子体成像仪，它包括上下一对金属电极和高压射频电源，其特征在于它具有扫描装置和抽气、充气装置。
2、根据权利要求1所述的等离子体成像仪，其特征在于扫描装置由一个扫描电极（9）和二个不锈钢滑干（6），在滑干（6）上套上二个尼龙滑筒（8），并由皮带（8）来联接尼龙滑筒（8）与双向微电机（1）。
3、根据权利要求2所述的等离子体成像仪，其特征在于扫描电极是紫铜刀口做成，或是其它金属或者是一根钨丝。
4、根据权利要求1所述的等离子体成像仪，其特征在于抽气、充气装置是在上、下机壳之间由真空橡皮垫圈（10）密封，在上、下机壳上安有气嘴（11），并用真空橡皮管联上抽气机。
5、根据权利要求1所述的等离子体成像仪，其特征在于高压射频电源也可以用50Hz高压电源代替。
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