[其他]物理气相沉积用的涂层装置无效
| 申请号： | 86205741 | 申请日： | 1986-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN86205741U | 公开（公告）日： | 1987-07-15 |
| 发明（设计）人： | 张学华;程世德;陈观吾;王东辉 | 申请（专利权）人： | 北京市有色金属研究总院 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京市第三专利代理事务所 | 代理人： | 张永虎,陆菊华 |
| 地址： | 北京市新街*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理 沉积 涂层 装置 | ||
1、一种涂层装置，包括一个绕固定轴(7)旋转的转动体(2)，转动体的支承座(5)，若干安装在转动体(2)上并能绕自身轴线旋转的基体支持件(1)，至少一个设在转动体(2)下部的沉积源(21)，转动体的传动装置(22)，基体支持件(1)的传动装置以及真空室(4)，其特征是：
(1)所说的转动体为中空圆柱体，
(2)所说的基体支持件(1)安装在转动体(2)的圆柱面上，基体支持件(1)的轴线沿转动体半径方向与固定轴轴线大致垂直。
2、根据权利要求1所说的涂层装置，其特征是所说的转动体（2）通过支承座（5）安装在一个能沿固定轴（7）轴线方向移动的平台（12）上。
3、根据权利要求2所述的涂层装置，其特征是所说的基体支持件（1）的传动装置由齿轮（6）和有端面齿的零件（8）组成，各个基体支持件（1）伸入转动体圆柱面内部的端部有齿轮（6），与有端面齿零件（8）的齿啮合，所说的有端面齿零件（8）装在转动体（2）内部，与固定轴（7）轴线垂直并固定在转动体的固定轴（7）上。
4、根据权利要求2所说的涂层装置，其特征是所说的基体支持件（1）的传动装置由摩擦轮（25）和有叉形弹性体的摩擦件（23）组成，各个基体支持件（1）伸入转动体圆柱面内部的端部有摩擦轮（25），与有叉形弹性体的摩擦件（23）摩擦传动，摩擦件（23）装在转动体（2）内部，与固定轴（7）轴线垂直并固定在固定轴（7）上。
5、根据权利要求1或2或3或4所说的涂层装置，其特征是所说的转动体（2）是多边形中空柱体。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京市有色金属研究总院，未经北京市有色金属研究总院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/86205741/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
