[其他]单晶连续生长装置无效
| 申请号: | 86200234 | 申请日: | 1986-01-31 |
| 公开(公告)号: | CN86200234U | 公开(公告)日: | 1986-10-22 |
| 发明(设计)人: | 施仲坚;李惠章;刘金龙 | 申请(专利权)人: | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
| 代理公司: | 中国科学院声学研究所专利办公室 | 代理人: | 崔茹华,夏秀英 |
| 地址: | 北京市中*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 连续 生长 装置 | ||
1、一种采用白金质坩埚提拉单晶的装置,其特征在于它由拉晶炉(7),退火炉(8),降温区(9),(10),晶体运输机械系统(15),(16),(17),(18),隔热堵头11-1,11-2,11-3,11-4,温度控制装置所构成。
2、按权利要求1所述的装置,其特征在于该装置由四个区Ⅰ,Ⅱ,Ⅲ,Ⅳ所组成,各级邻区分别由隔热堵头11-1,11-2,11-3,11-4连接。
3、按权利要求1所述的装置,其特征在于各区的温度由PID与程控仪所组成的温控系统控制。
4、按权利要求1所述的装置,其特征在于该装置的拉晶炉可以安置一个或多个坩埚(12),以及与此相对应的,可以有一个或多个加料管(14)。
5、按照权利要求2至4所述的装置,其特征在于该装置的晶转机械控制设备是在轨道(17)上完成晶体的转移,并且根据需要做到可止可行。
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