[其他]应力和温度补偿声表面波器件

权利要求书

1、声表面波器件，特征在于具有为应力补偿和为温度补偿所选择的传播方向r和倾斜取向θ。

2、如权利要求1的声表面波（SAW）器件，进一步的特征包括一个具有传播方向r近似为46.9°和倾斜取向θ近似为41.8°的Y切割石英SAW器件。

3、如权利要求1的器件，特征在于还包括一个具有由选自图12的轨迹集的一条轨线所确定的传播方向r和倾斜取向θ的旋转Y轴切割石英SAW器件。

4、如权利要求1的器件，特征在于还包括一个具有由选自图8中标有STC切割曲线上的轨迹集的一条轨线所确定的传播方向r和倾斜取向θ的SAW器件。

5、如权利要求1的器件，特征在于其功率通量角为-6.5°±4°。

6、如权利要求1的器件，特征在于包括一个带有一个表面（SAW沿此表面传播）的衬底，并具有为补偿所述表面上的平面的各向同性应力分布而选择的传播方向r和倾斜取向θ。

7、如权利要求1或6的器件，特征在于具有为补偿周期的热应力分布而选择的传播方向r和倾斜取向θ，所述周期热应力分布是由一列不同材料的条状电极引起，所述补偿是在一个比ST切割器件较大的带宽范围内作出。

8、如权利要求1或7的器件，特征在于具有为补偿由所述衬底的加载弯曲引起的双轴应力而选的传播方向r和倾斜取向θ。

9、如权利要求1或8的器件，特征在于具有实际上高于ST切割器件的SAW速度。

10、如权利要求1或8的器件，特征在于具有实际上低于ST切割器件的粘滞衰减。

11、如权利要求1的器件，特征在于包括一个沿其传播SAW的旋转Y轴切割的石英衬底。

12、如权利要求11的器件，特征在于其中的石英实际上是单晶体。

13、如权利要求11的器件，其中所述石英衬底具有一个主表面和至少一个换能器，该换能器包括一列在所述衬底表面上的电极，其中的SAW的传播方向沿所述主表面，而主表面的倾斜取向θ为实际上优于SST切割的SAW器件的应力补偿和温度补偿而被选择。

14、如权利要求2的器件，其中，传播方向r约为46.9°，倾斜取向θ约为41.8°。

15、如权利要求2、3或14的器件，其中的r和θ再加或减1°。

16、如权利要求2、3或14的器件，其中的r和θ再加或减2°。

17、如权利要求2、3或14的器件，其中的r和θ再加或减3°。

18、如权利要求2、3或14的器件，其中的r和θ再加或减4°。