[其他]测试微区腐蚀电位电流密度分布的扫描装置

权利要求书

1、测试微区腐蚀电位电流密度分布的扫描装置，它由微参比电极、样品架、电机、连接装置、底板、立柱和控制驱动电路等部分组成，本发明的特征是：微参比电极(1)的微玻璃毛细管(2)的尖端外径小于10微米，内阻小于500KΩ，样品架(19)固定在X轴滑块(12)上，通过X轴丝杆(13)与X轴步进电机(17)连接，X轴滑块位于X轴滑轨(11)上，可自由运动，微参比电极与固定在Y轴滑块(24)上的电极上下读数微调器(25)连接，Y轴滑块卡入横梁(21)上的滑条(23)，并与Y轴丝杆(27)和Y轴步进电机(29)连接，自动扫描过程由微计算机中的CPU通过可编程并行I/O接口PPI(33)控制，PPI输出控制信号控制CTC(34)向X轴步进电机和Y轴步进电机提供脉冲信号的分配和环形分配器(36)的工作方式。

2、根据权利要求1所述的扫描装置，其特征是：测量电流密度分布需两根微参比电极固定在一起，并同时扫描，其中一根的微玻璃毛细管（10）呈弯曲，两根微玻璃毛细管的尖端位于垂直于样品表面的同一直线上，两尖端的距离一般为300～600微米，最好约为400微米。

3、根据权利要求1所述的扫描装置，其特征是：X轴滑轨（11）固定在底板（31）上，X轴步进电机（17）通过轴承（14）和联轴部件（15）与X轴丝杆（13）连接，与X轴丝杆相连的X轴滑块（12）在X轴滑轨上可来回平动。

4、根据权利要求1所述的扫描装置，其特征是：样品架（19）和电解池（20）连接，最好通过细螺纹连接，电解池可以沿垂直轴转动，样品架和电解池一般可用耐酸、耐腐蚀材料做成，通常用有机玻璃。

5、根据权利要求1和3所述的扫描装置，其特征是：X轴丝杆最好利用螺旋测微器改装而成。

6、根据权利要求1所述的扫描装置，其特征是：横梁（21）固定在立柱（22）上，横梁上装有滑条（23），在Y轴滑块（24）上固定有微电极上下读数微调器（25），Y轴丝杆（27）通过Y轴丝杆螺母（28）与Y轴步进电机（29）相连，读数微调器可用千分表改装而成。

7、根据权利要求1、3和6所述的扫描装置，其特征是：X轴丝杆与Y轴丝杆互相垂直。

8、根据权利要求1所述的扫描装置，其特征是：微参比电极离被测样品的距离小于50微米，最好约为10微米。

9、根据权利要求1所述的扫描装置，其特征是：PPI的状态信息输入端口由外设的位置调节键的状态提供，一般可设四个位置调节键。

10、根据权利要求1所述的扫描装置，其特征是：PPI的一输出端口输出控制信号，控制CTC（34）的一个通道形成定时脉冲，作为驱动步进电机的脉冲源，CTC的其余通道工作在计数状态。

11、根据权利要求1所述的扫描装置，其特征是：PPI的另一端口输出控制信号，和CTC输出的脉冲信号通过步进电机环形分配器（36）控制X轴和Y轴步进电机按程序给定的参数运转，CTC输出的定时脉冲可经脉冲展宽电路展宽，展宽电路可由二极管、电容和与非门组成。

12、根据权利要求1、9、10和11所述的扫描装置，其特征是：微计算机的CPU可用Z-80，PPI可用Intel8255，CTC可用Z-80CTC，步进电机分配器可用CH250。