[其他]沉积绝缘层的电学定标热释电探测器无效
| 申请号: | 85205071 | 申请日: | 1985-11-13 |
| 公开(公告)号: | CN85205071U | 公开(公告)日: | 1987-06-03 |
| 发明(设计)人: | 巩嘉隆;于月华 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号: | G01J5/10 | 分类号: | G01J5/10 |
| 代理公司: | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人: | 高毓秋,徐伟奇 |
| 地址: | 上海市中山北*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 沉积 绝缘 电学 定标 热释电 探测器 | ||
【权利要求书】:
1、一个由信号电极[1]、热释电晶体[2]、隔离电极[3]、光吸收层和电加热层[6]组成的电学定标热释电探测器,其特征是在加热层[6]与热释电晶体上的隔离电极[3]之间沉积有一层薄的绝缘层[4]。
2、按权利要求1规定的探测器,其特征是可以用真空镀膜、真空溅射、分解沉积或机械涂膜方法来沉积该绝缘层〔4〕。
3、按权利要求1规定的探测器,其特征是沉积绝缘层的材料可以是二氧化硅、一氧化硅、硒化锌和绝缘烘漆等绝缘材料。
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