[其他]用化学汽相法于浮法玻璃带底表面上沉积反射膜

说明书

本发明就总体而论是关于化学汽相沉积法的，但更侧重于反射膜的化学汽相沉积工艺。

美国专利3，681，042〔爱德华兹（Edwards）等〕披露了将一种涂料蒸涂到浮法玻璃表面上的工艺：把此种涂料的蒸汽夹带于一热的载体气体流中，而将这样的气体载运的涂料导至处于适宜涂层温度下的，待涂复的浮法玻璃表面上。

美国专利3，850，679〔司波各（Spoko）等〕披露了将一种金属氧化物涂层沉积到热玻璃表面上的方法：将载体空气、汽化的溶剂以及汽化的含金属之涂层反应料的混合物，通过一喷嘴涂敷到热的玻璃表面上，此喷嘴的雷诺数超过2500，而喷嘴至玻璃表面的间距至少是喷嘴特征基准尺寸的1.25倍。

美国专利3，852，098〔布洛斯（Bloss）等〕披露了在玻璃基片上涂敷一种含金属的薄膜之方法：将玻璃加热并使之与一种气体混合物接触，而这种气体混合物在紧接它与玻璃接触前，由一种反应的金属化合物之蒸汽在其温度下浸透至50%到100%的程度。然后借玻璃把这种气体混合物加热到，足以使该金属化合物在玻璃上沉积成膜层的温度。

美国专利3，888，649〔西蒙汉（Simhan）〕披露了一种细长的收敛形喷嘴，它的收缩比为6和6以上，其壁部的形状使贴着它流经此喷嘴的液体，基本上能在喷嘴的整个通道上得到加速。西蒙汉在另一件美国专利（专利号：3，942，469）中则提出了一种壁部具有渐增之曲率半径的细长式收敛形喷嘴。

美国专利4，130，673〔拉尔金（Larkin）〕披露了，将细剖分的或汽化的丁锡化三氯涂敷到加热的玻璃制品上，在其表面形成氧化锡的涂层，然后再复涂以通常的润滑蜡，这样就减小了玻璃的摩擦系数并改进了它的抗划痕本领。拉尔金又在美国专利4，144，362中提出了另一种在加热的玻璃制品上形成氧化锡涂层的方法，这里采用了细剖分的液体的一丁锡化三氯，其中未热解的反应物被回收作以后的重新使用。

美国专利4，206，252〔戈登（Gordan）〕中描述了这样一种透明的玻璃窗，它的第一层涂料是红外反射材料，这上面出现的虹彩现象是借助在玻璃与此涂层间提供一种渐变折射率层而得以显著减弱的。这项发明还包括了这种窗的制造方法。戈登还在美国专利4，294，193中描述了用于生产上述带涂层之玻璃的蒸涂设备，在这种带涂层的玻璃中，玻璃基片与红外反射涂层之间设有一种膜层，它的折射率沿该膜层的厚度方向从玻璃基片到该红外反射涂层连续增加。总的说来，该项专利中所描述之设备是适合从气态反应材料来制备组成渐变的涂层的。

美国专利4，325，988〔瓦格纳（Wagner）〕描述了，从一种尘埃大小的颗粒料涂层反应物（最好是采用一种喷射研磨机加工出的此类粒状料）的烟尘形式，在某种基片表面上生成一种薄膜的方法与设备。美国专利4，344，986〔亨奈利（Henery）〕则披露了一种从粉末状涂层反应料来沉积涂层的方法，这里，在载体气体流中形成了紊流。

美国专利4，401，695〔司波各（Spoko）〕披露了从一种粉末涂料反应物的气流束沉积涂层的方法与设备，其中的载体气体是在高的体积率和低的压力条件下供应的。

本发明对于运行中的浮法玻璃带，提供了一种在其底表面上化学汽相沉积上一种含金属膜层的方法。所用的涂层设备包括一种输出涂层反应料蒸汽的槽式喷嘴，此喷嘴邻近同该设备整体装配的排气收集器。这种输出一排气的整体系统装设在玻璃的输送辊之间。在浮法玻璃带底表面上以化学汽相法沉积一在可见光谱区有反射性的含金属膜，把这种膜同在玻璃带上表面沉积之红外反射膜相结合是特别有用的。

图1是说明由辊12输送玻璃带10之过程的剖面图。涂层反应料蒸汽（未示明）通过室25与分配器22，由喷嘴20输送到玻璃带10的底表面上。整体连接的一台排气装置30将未沉积的蒸汽排走。

图2是一个垂直于图1方向上的图，表明装配有分配器22和喷嘴20的两个相邻的蒸涂室25的结构。以三个部分来阐明此排气装置30，每一部分都有一个与真空装置相连的出口（未示明）。

图3是一个剖面图，示意地说明在浮法生产平板玻璃过程中，在隔板105之下从浮抛用金属液槽出料端100经一批辊筒12送至退火炉110的情形。装配有分配器22、喷嘴20和排气装置30的两个相邻之蒸涂室25则位于两对辊筒12之间。在玻璃带10之上方设有两个涂层器40，将涂层反应料沉积到玻璃带10的上表面。排气装置50则将未沉积的涂层反应料和反应产物排出。