[实用新型]一种匀胶装置

说明书

本申请涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种匀胶装置，其技术方案要点在于：包括机架、匀胶盘、电机以及水冷机构，电机安装于机架的底部，电机的输出轴贯穿机架并与匀胶盘相连接，电机用于带动匀胶盘转动，水冷机构设置于电机上，水冷机构用于给电机散热、降低电机的温度。本申请的有益效果为：电机的散热效果好、匀胶盘的温度稳定。

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种匀胶装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆的生产领域，晶圆表面光刻胶或黏度高的有机溶剂涂布的厚度及均匀性要求很高。目前涂胶的方法一般采用旋转涂覆法，通过吸附的方式把晶圆固定在高速旋转的匀胶盘上，再滴上光刻胶或黏度高的有机溶剂，利用高速旋转时的离心力作用，将光刻胶或黏度高的有机溶剂甩开，从而达到规定的厚度和均匀性。

针对上述技术中，发明人发现，对于黏度较小的光刻胶或有机物，需要在常温环境下对其进行匀胶，环境温度过高，胶液容易凝固，导致难以将胶液甩开。目前匀胶盘一般使用电机带动其高速旋转，而电机工作时产生热量，导致匀胶盘的温度上升，进而使得胶液凝固，不利于匀胶。

实用新型内容

本申请提供一种匀胶装置，具有电机的散热效果好、匀胶盘的温度稳定的优点。

一种匀胶装置，包括机架、匀胶盘、电机以及水冷机构，所述电机安装于所述机架的底部，所述电机的输出轴贯穿所述机架并与所述匀胶盘相连接，所述电机用于带动所述匀胶盘转动，所述水冷机构设置于所述电机上，所述水冷机构用于给所述电机散热、降低所述电机的温度。

通过采用上述技术方案，电机的输出轴带动匀胶盘高速转动，电机工作时，水冷机构能够给电机降温，减少电机对匀胶盘温度的影响，匀胶盘的温度稳定，从而有利于匀胶。

优选的，所述水冷机构包括外壳，所述电机的机身外侧开设有水槽，所述外壳设置于所述电机的机身上，所述外壳覆盖所述水槽，所述电机的机身上还设置有进水口以及出水口，所述进水口与所述出水口分别与所述水槽的两端相连通。

通过采用上述方案，进水口以及出水口分别用于连接水管，电机工作时，冷却水从进水口进入，沿着水槽流经电机机身的外侧，带走电机工作产生的热量，最后从出水口流出。

优选的，所述水槽沿着所述电机的机身围绕一圈，所述水槽的两端相隔开。

通过采用上述技术方案，水槽围绕机身一圈，有利于使得冷却水与电机机身的接触面积更大，从而有利于提高冷却水对电机的降温效果，同时水槽的两端隔开不相接，能够保证冷却水的流向。

优选的，所述水槽上设置有若干凸起，若干所述凸起沿着垂直于所述水槽的长度方向均匀分布，所述凸起的顶面与所述外壳的内侧壁相抵接。

通过采用上述方案，凸起的设置能够使得冷却水分流成若干细流，有利于减少冷却水堆积在水槽底部的情况发生，同时有利于增大冷却水与电机机身的接触面积。

优选的，所述匀胶盘的底部中心固定设置有连接部，所述连接部套设于所述电机的输出轴上，所述电机输出轴的端部开设有插接槽，所述连接部的内部设置有插接部，所述插接部插设于所述插接槽中，所述连接部上还设置有抵紧件，所述抵紧件用于抵紧所述连接部。

通过采用上述方案，插接部与插接槽的配合设置使得匀胶盘能够稳定跟随电机的输出轴转动，同时抵紧件的设置使得匀胶盘与电机输出轴的连接稳定。

优选的，所述抵紧件包括若干螺栓，所述连接部的侧壁贯穿开设有若干螺纹孔，所述螺栓与所述螺纹孔螺纹连接，所述螺栓的尾部用于与所述电机的输出轴相抵接。

通过采用上述方案，使用螺栓抵紧电机输出轴的侧壁，不仅能限制连接部的上下移动，并且进一步保证连接部跟随电机的输出轴转动，有利于使得连接部与电机输出轴的连接更加稳定。