[实用新型]洁净室空调系统有效
申请号: | 202320191323.8 | 申请日: | 2023-01-19 |
公开(公告)号: | CN218955065U | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 卿成;张旭;张建;吕芳栋;卫元元;罗鸿;叶水全;张哲;简征程;徐江;李建;李书文;王奇缘 | 申请(专利权)人: | 通威微电子有限公司 |
主分类号: | F24F3/167 | 分类号: | F24F3/167;F24F3/14;F24F5/00;F24F7/003;F24F11/89;F24F13/02;F24F13/28;F24F110/10;F24F110/20 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 杨勋 |
地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 洁净室 空调 系统 | ||
本实用新型实施例提供了一种洁净室空调系统,属于空调技术领域,本洁净室空调系统包括水循环空调、第一新风空调及第二新风空调,三者均与洁净室连通。通过设置第一新风空调和第二新风空调配合水循环空调对洁净室进行送风,第一新风空调可以通过第一加热模组和第一冷却模组调节洁净室的温度,第二新风空调可以通过湿度调节模组调节洁净室的湿度,两个新风空调配合水循环空调,可以实现对洁净室送风温度和湿度的调节,以满足洁净室(尤其在夏季或者外部环境湿度较高时)的温度和湿度需求。
技术领域
本实用新型涉及空调技术领域,具体而言,涉及一种洁净室空调系统。
背景技术
洁净室通常指对空气洁净度、温度、湿度、压力、噪声等参数根据需要都进行控制的密闭性较好的空间。尤其用于碳化硅生产的洁净室,对空气调节的要求更高。
相关技术中,洁净室的空气调节由一台水循环空调控制,存在送风的温度和湿度不能调节的问题,尤其是夏季或者外部环境湿度较高时,水循环空调难以满足洁净室的温度和湿度需求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种洁净室空调系统,其能够有效调节洁净室的送风温度和湿度,从而满足洁净室的温度和湿度需求。
本实用新型的实施例是这样实现的:
第一方面,本实用新型提供一种洁净室空调系统,用于调节洁净室的空气,包括:
水循环空调,所述水循环空调用于与所述洁净室连通;
第一新风空调,所述第一新风空调包括第一流道和设置于所述第一流道内的第一加热模组和第一冷却模组,所述第一流道的进风口用于与外部环境连通,所述第一流道的出风口用于与所述洁净室连通;
第二新风空调,所述第二新风空调包括第二流道和设置于所述第二流道内的湿度调节模组,所述第二流道的进风口用于与外部环境连通,所述第二流道的出风口用于与所述洁净室连通。
在可选的实施方式中,所述第一加热模组包括第一加热盘管,所述第一加热盘管的一端与第一热水供水管连通,另一端与第一热水回水管连通。
在可选的实施方式中,所述第一冷却模组包括第一冷却盘管,所述第一冷却盘管的一端与第一冷水供水管连通,另一端与第一冷水回水管连通。
在可选的实施方式中,所述第一新风空调还包括第一过滤模组、第一前均流板、第一风机模组及第一后均流板,沿所述第一流道内的气流方向,所述第一过滤模组、所述第一加热模组、所述第一冷却模组、所述第一前均流板、所述第一风机模组及所述第一后均流板依次排布。
在可选的实施方式中,第二新风空调还包括设置于第二流道内的第二加热模组和第二冷却模组。
在可选的实施方式中,所述第二加热模组包括第二加热盘管,所述第二加热盘管的一端与第二热水供水管连通,另一端与第二热水回水管连通;所述第二冷却模组包括第二冷却盘管,所述第二冷却盘管的一端与第二冷水供水管连通,另一端与第二冷水回水管连通。
在可选的实施方式中,所述第二加热模组的数量为两个,且沿所述第二流道内的气流方向,两个所述第二加热模组分别位于所述第二冷却模组的上游和下游。
在可选的实施方式中,所述第二新风空调还包括第二过滤模组、第二前均流板、第二风机模组、第二后均流板,沿所述第二流道内的气流方向,所述第二过滤模组、其中一个所述第二加热模组、所述湿度调节模组、所述第二冷却模组、另外一个所述第二加热模组、所述第二前均流板、所述第二风机模组以及所述第二后均流板依次设置。
在可选的实施方式中,所述第二热水供水管和所述第二热水回水管分别连通有备用冷水供水管和备用冷水回水管。
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