[实用新型]洁净室空调系统有效
申请号: | 202320191323.8 | 申请日: | 2023-01-19 |
公开(公告)号: | CN218955065U | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 卿成;张旭;张建;吕芳栋;卫元元;罗鸿;叶水全;张哲;简征程;徐江;李建;李书文;王奇缘 | 申请(专利权)人: | 通威微电子有限公司 |
主分类号: | F24F3/167 | 分类号: | F24F3/167;F24F3/14;F24F5/00;F24F7/003;F24F11/89;F24F13/02;F24F13/28;F24F110/10;F24F110/20 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 杨勋 |
地址: | 610200 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 洁净室 空调 系统 | ||
1.一种洁净室空调系统(10),用于调节洁净室(400)的空气,其特征在于,包括:
水循环空调,所述水循环空调用于与所述洁净室(400)连通;
第一新风空调(100),所述第一新风空调(100)包括第一流道(102)和设置于所述第一流道(102)内的第一加热模组(120)和第一冷却模组(130),所述第一流道(102)的进风口用于与外部环境连通,所述第一流道(102)的出风口用于与所述洁净室(400)连通;
第二新风空调(200),所述第二新风空调(200)包括第二流道(202)和设置于所述第二流道(202)内的湿度调节模组(230),所述第二流道(202)的进风口用于与外部环境连通,所述第二流道(202)的出风口用于与所述洁净室(400)连通。
2.根据权利要求1所述的洁净室空调系统(10),其特征在于,所述第一加热模组(120)包括第一加热盘管,所述第一加热盘管的一端与第一热水供水管(122)连通,另一端与第一热水回水管(124)连通。
3.根据权利要求1所述的洁净室空调系统(10),其特征在于,所述第一冷却模组(130)包括第一冷却盘管,所述第一冷却盘管的一端与第一冷水供水管(132)连通,另一端与第一冷水回水管(134)连通。
4.根据权利要求1所述的洁净室空调系统(10),其特征在于,所述第一新风空调(100)还包括第一过滤模组(110)、第一前均流板(140)、第一风机模组(150)及第一后均流板(160),沿所述第一流道(102)内的气流方向,所述第一过滤模组(110)、所述第一加热模组(120)、所述第一冷却模组(130)、所述第一前均流板(140)、所述第一风机模组(150)及所述第一后均流板(160)依次排布。
5.根据权利要求1-4任一项所述的洁净室空调系统(10),其特征在于,所述第二新风空调(200)还包括设置于所述第二流道(202)内的第二加热模组(220)和第二冷却模组(240)。
6.根据权利要求5所述的洁净室空调系统(10),其特征在于,所述第二加热模组(220)包括第二加热盘管,所述第二加热盘管的一端与第二热水供水管(222)连通,另一端与第二热水回水管(224)连通;所述第二冷却模组(240)包括第二冷却盘管,所述第二冷却盘管的一端与第二冷水供水管(242)连通,另一端与第二冷水回水管(244)连通。
7.根据权利要求6所述的洁净室空调系统(10),其特征在于,所述第二加热模组(220)的数量为两个,且沿所述第二流道(202)内的气流方向,两个所述第二加热模组(220)分别位于所述第二冷却模组(240)的上游和下游。
8.根据权利要求7所述的洁净室空调系统(10),其特征在于,所述第二新风空调(200)还包括第二过滤模组(210)、第二前均流板(250)、第二风机模组(260)、第二后均流板(270),沿所述第二流道(202)内的气流方向,所述第二过滤模组(210)、其中一个所述第二加热模组(220)、所述湿度调节模组(230)、所述第二冷却模组(240)、另外一个所述第二加热模组(220)、所述第二前均流板(250)、所述第二风机模组(260)以及所述第二后均流板(270)依次设置。
9.根据权利要求6所述的洁净室空调系统(10),其特征在于,所述第二热水供水管(222)和所述第二热水回水管(224)分别连通有备用冷水供水管(226)和备用冷水回水管(228)。
10.根据权利要求1所述的洁净室空调系统(10),其特征在于,洁净室空调系统(10)还包括控制器(300)、温度传感器以湿度传感器,所述温度传感器和所述湿度传感器分别用于检测所述洁净室(400)的温度和湿度,所述温度传感器、所述湿度传感器、所述水循环空调、所述第一新风空调(100)及所述第二新风空调(200)分别与所述控制器(300)电连接。
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