[实用新型]一种干式真空泵消声装置及具有其的干式真空泵机组

权利要求书

1.一种干式真空泵消声装置，其特征在于，包括：

消声壳体，其内部设置有消声腔(9)；

空心内芯(3)，安装在所述消声腔(9)内，所述空心内芯(3)外壁连接有至少一层支撑隔板(8)，所述支撑隔板(8)与所述消声腔(9)内壁之间预留有过气间隙，所述空心内芯(3)侧壁上贯穿设置有过气孔；

止逆件(2)，安装在所述消声腔(9)内靠近所述消声壳体的进气口(10)一侧，所述止逆件(2)的外壁适于与所述进气口(10)贴合抵接，所述止逆件(2)具有在自身重力作用下与所述进气口(10)抵接以将所述进气口(10)封堵的第一状态，以及在气流作用下与所述进气口(10)分离以使气体进入消声腔(9)的第二状态。

2.根据权利要求1所述的干式真空泵消声装置，其特征在于，所述支撑隔板(8)外边缘与所述消声腔(9)的内壁贴合设置，所述支撑隔板(8)上贯穿设置有辅助气孔。

3.根据权利要求2所述的干式真空泵消声装置，其特征在于，所述空心内芯(3)与所述消声腔(9)的出气端之间安装有弹性件(4)，所述弹性件(4)处于被压缩状态，以对所述空心内芯(3)施加远离所述出气端方向的偏压力。

4.根据权利要求1至3任一项所述的干式真空泵消声装置，其特征在于，所述消声腔(9)的进气端设置有锥形段，所述止逆件(2)安装在所述锥形段内。

5.根据权利要求4所述的干式真空泵消声装置，其特征在于，所述止逆件(2)呈球形或锥形或台型。

6.根据权利要求1至3任一项所述的干式真空泵消声装置，其特征在于，所述消声壳体包括壳本体(1)和端盖(5)，所述端盖(5)可拆卸安装在所述壳本体(1)的出气端，所述端盖(5)上设置有出气口(11)。

7.根据权利要求6所述的干式真空泵消声装置，其特征在于，所述壳本体(1)与所述端盖(5)之间安装有密封组件。

8.根据权利要求7所述的干式真空泵消声装置，其特征在于，所述端盖(5)侧壁上设置有安装槽，所述密封组件至少部分安装在所述安装槽内。

9.根据权利要求1至3任一项所述的干式真空泵消声装置，其特征在于，多个所述过气孔具有多种孔径。

10.一种干式真空泵机组，其特征在于，具有权利要求1至9任一项所述的干式真空泵消声装置。