[实用新型]负压流体控制装置和微型负压设备

说明书

本实用新型涉及流体控制装置技术领域，提供一种负压流体控制装置和微型负压设备，负压流体控制装置包括进流板、第一从动板、第一压电致动板和第一罩壳；进流板包括板体及设于板体的进流接口，板体的第一侧面设有第一导流槽和第一导流孔，第一导流孔设于第一导流槽内并与进流接口连通；第一从动板叠设于板体并封闭第一导流槽，第一从动板开设有第一抽吸孔，第一抽吸孔与第一导流槽位置相对应；第一压电致动板叠设于第一从动板背离板体的一侧，第一压电致动板可受驱振动，以在第一从动板背离板体的一侧形成负压；第一罩壳罩设于板体并遮盖第一压电致动板和第一从动板，第一罩壳的第一排气孔与第一抽吸孔连通。本实用新型实现负压流体控制的功能。

技术领域

本实用新型涉及流体控制装置技术领域，尤其涉及一种负压流体控制装置和微型负压设备。

背景技术

现有负压流体控制装置通常采用隔膜泵方式，结构复杂，体积大，耗能大，噪音大，控制精度相对较低，应用受到限制，难以满足小型产品或精度要求较高的产品的应用需求。

实用新型内容

本实用新型提供一种负压流体控制装置和微型负压设备，用以解决现有技术中负压流体控制装置体积大、噪音大、功耗大、控制精度相对较低的缺陷。

第一方面，本实用新型提供的一种负压流体控制装置，包括：

进流板，包括板体及设于所述板体的进流接口，所述板体设有第一侧面，所述第一侧面设有第一导流槽和第一导流孔，所述第一导流孔设于所述第一导流槽内并与所述进流接口连通；

第一从动板，叠设于所述板体上并封闭所述第一导流槽，所述第一从动板上开设有第一抽吸孔，所述第一抽吸孔与所述第一导流槽的位置相对应；

第一压电致动板，叠设于所述第一从动板背离所述板体的一侧，所述第一压电致动板可受驱振动，以在所述第一从动板背离所述板体的一侧形成负压；以及

第一罩壳，罩设于所述板体，并遮盖所述第一压电致动板和所述第一从动板，所述第一罩壳设有第一排气孔，所述第一排气孔与所述第一抽吸孔连通。

根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述板体还设有与所述第一侧面相对的第二侧面，所述第二侧面设有第二导流槽和第二导流孔，所述第二导流孔设于所述第二导流槽内并与所述进流接口连通；

所述负压流体控制装置还包括：

第二从动板，叠设于所述板体上并封闭所述第二导流槽，所述第二从动板上开设有第二抽吸孔，所述第二抽吸孔与所述第二导流槽的位置相对应；

第二压电致动板，叠设于所述第二从动板背离所述板体的一侧，所述第二压电致动板可受驱振动，以在所述第二从动板背离所述板体的一侧形成负压；以及

第二罩壳，罩设于所述板体，并遮盖所述第二压电致动板和所述第二从动板，所述第二罩壳设有第二排气孔，所述第二排气孔与所述第二抽吸孔连通。

根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述板体还设有与所述第一侧面相对的第二侧面，所述第二侧面凸出设置所述进流接口。

根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述第一导流孔的孔径大于所述第一抽吸孔的孔径。

根据本实用新型提供的负压流体控制装置，所述第一压电致动板包括第一振动板、第一固定板、第一连接臂和第一压电元件，所述第一振动板对应所述第一抽吸孔设置；所述第一固定板围绕于所述第一振动板的外周，所述第一固定板与所述第一振动板之间具有第一间隔，所述第一固定板与所述第一从动板固定连接；所述第一连接臂设于所述第一间隔内，所述第一连接臂连接所述第一振动板和所述第一固定板；所述第一压电元件设于所述第一振动板，以在被施加电压时驱动所述第一振动板振动。