[实用新型]负压流体控制装置和微型负压设备

权利要求书

1.一种负压流体控制装置，其特征在于，包括：

进流板，包括板体及设于所述板体的进流接口，所述板体设有第一侧面，所述第一侧面设有第一导流槽和第一导流孔，所述第一导流孔设于所述第一导流槽内并与所述进流接口连通；

第一从动板，叠设于所述板体上并封闭所述第一导流槽，所述第一从动板上开设有第一抽吸孔，所述第一抽吸孔与所述第一导流槽的位置相对应；

第一压电致动板，叠设于所述第一从动板背离所述板体的一侧，所述第一压电致动板可受驱振动，以在所述第一从动板背离所述板体的一侧形成负压；以及

第一罩壳，罩设于所述板体，并遮盖所述第一压电致动板和所述第一从动板，所述第一罩壳设有第一排气孔，所述第一排气孔与所述第一抽吸孔连通。

2.根据权利要求1所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述板体还设有与所述第一侧面相对的第二侧面，所述第二侧面设有第二导流槽和第二导流孔，所述第二导流孔设于所述第二导流槽内并与所述进流接口连通；

所述负压流体控制装置还包括：

第二从动板，叠设于所述板体上并封闭所述第二导流槽，所述第二从动板上开设有第二抽吸孔，所述第二抽吸孔与所述第二导流槽的位置相对应；

第二压电致动板，叠设于所述第二从动板背离所述板体的一侧，所述第二压电致动板可受驱振动，以在所述第二从动板背离所述板体的一侧形成负压；以及

第二罩壳，罩设于所述板体，并遮盖所述第二压电致动板和所述第二从动板，所述第二罩壳设有第二排气孔，所述第二排气孔与所述第二抽吸孔连通。

3.根据权利要求1所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述板体还设有与所述第一侧面相对的第二侧面，所述第二侧面凸出设置所述进流接口。

4.根据权利要求1所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一导流孔的孔径大于所述第一抽吸孔的孔径。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一压电致动板包括第一振动板、第一固定板、第一连接臂和第一压电元件，所述第一振动板对应所述第一抽吸孔设置；所述第一固定板围绕于所述第一振动板的外周，所述第一固定板与所述第一振动板之间具有第一间隔，所述第一固定板与所述第一从动板固定连接；所述第一连接臂设于所述第一间隔内，所述第一连接臂连接所述第一振动板和所述第一固定板；所述第一压电元件设于所述第一振动板，以在被施加电压时驱动所述第一振动板振动。

6.根据权利要求5所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一压电致动板还包括第一引气板，所述第一引气板设于所述第一振动板朝向所述第一从动板的一侧，所述第一引气板与所述第一抽吸孔的位置相对应；和/或，

所述第一压电致动板还包括多个第一抵接部，所述多个第一抵接部凸设于所述第一振动板朝向所述第一从动板的表面，所述多个第一抵接部围绕所述第一抽吸孔布置。

7.根据权利要求5所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一压电致动板还包括第一外电极，所述第一外电极凸伸于所述第一固定板的外缘，所述第一外电极与所述第一压电元件电性连接；

所述负压流体控制装置还包括第一绝缘板和第一导电板，所述第一绝缘板和所述第一导电板依序叠设于所述第一压电致动板背离所述第一从动板的一侧，所述第一绝缘板设有第一避位孔，所述第一导电板设有第二避位孔、第一内电极和第二外电极，所述第二外电极凸伸于所述第一导电板的外缘，所述第一内电极凸伸于所述第二避位孔内，所述第一内电极与所述第一压电元件电性连接。

8.根据权利要求7所述的负压流体控制装置，其特征在于，所述第一罩壳设置有第一避位槽，所述第一外电极和所述第二外电极由所述第一避位槽凸伸至所述第一罩壳外侧；

和/或，所述第一罩壳朝向所述板体的内壁面上设有第一密封环，所述第一密封环与所述第二避位孔的位置相对应，所述第一密封环的直径大于所述第二避位孔的直径；

和/或，所述第一罩壳朝向所述板体的内壁面上设有多个第一支撑部，所述多个第一支撑部分布于所述内壁面的四周边角处，所述多个第一支撑部用于支撑所述第一导电板。