[实用新型]一种支撑底座及等离子蚀刻机有效
申请号: | 202320158710.1 | 申请日: | 2023-02-07 |
公开(公告)号: | CN219588441U | 公开(公告)日: | 2023-08-25 |
发明(设计)人: | 骆晔 | 申请(专利权)人: | 迈捷克纳米科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | F16M7/00 | 分类号: | F16M7/00;F16F15/02;F16F15/067 |
代理公司: | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人: | 徐婧 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 支撑 底座 等离子 蚀刻 | ||
本实用新型涉及蚀刻机技术领域,具体为一种支撑底座及等离子蚀刻机,包括:等离子刻蚀机,连接柱和调节螺杆,所述等离子刻蚀机连接有支撑腿,所述连接柱侧壁开设有螺纹槽一和环形槽,所述调节螺杆连接有调节环和固定板;有益效果为:在使用时,首先根据地面的平整度转动调节环,使得凸块与环形槽进行分离,随后通过螺纹槽一与调节螺杆之间的螺纹连接,对调节螺杆进行转动,当调节到适当的高度时,再通过橡胶条回旋调节环,将凸块插入到环形槽当中,以此来防止地面不平整造成等离子刻蚀机的晃动的同时通过调节环进一步加强调节螺杆与连接柱的连接,以便于防止螺纹槽一与调节螺杆之间产生松动,进而影响等离子刻蚀机的正常使用。
技术领域
本实用新型涉及蚀刻机技术领域,具体为一种支撑底座及等离子蚀刻机。
背景技术
等离子刻蚀机是一种通过等离子体引起的化学反应和轰击产生的物理反应对待刻蚀件进行刻蚀的装置。
现有技术中,在对等离子刻蚀机进行使用的时候,通常需要对其进行支撑,以此来确保等离子刻蚀机的稳定。
但是,在对等离子刻蚀机进行支撑的时候,通常使用螺杆支脚进行高度调节,但是这种支脚底座减震效果较差,且螺杆在使用后容易出现松动现象,从而影响等离子刻蚀机的正常使用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种支撑底座及等离子蚀刻机,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种支撑底座,所述支撑底座包括:
支撑腿,所述支撑腿设有四个,四个所述支撑腿同一端固定连接有等离子刻蚀机,每个所述支撑腿的内部设有阻尼减震器;
连接柱,一端与支撑腿相连接,所述连接柱远离支撑腿的一端侧壁上开设有螺纹槽一和环形槽;及
调节螺杆,与连接柱相连接,所述调节螺杆连接有调节环和固定板。
优选的,所述支撑腿的内部开设有安装槽,所述安装槽远离等离子刻蚀机的一端内壁上开设有通孔。
优选的,所述阻尼减震器的一端与安装槽靠近离子刻蚀机的一端内壁固定连接,所述阻尼减震器的另一端与连接柱位于安装槽的一端固定连接。
优选的,所述连接柱的另一端竖向穿过通孔,所述连接柱通过螺纹槽一与调节螺杆的一端螺纹连接,所述螺纹槽一位于环形槽内侧。
优选的,所述调节环套接在调节螺杆的外壁上,所述调节环的内圈开设有螺纹槽二,所述调节环的外圈侧壁上设有若干个均匀分布的橡胶条。
优选的,所述调节环靠近连接柱的一端侧壁上固定连接有凸块,所述凸块呈环形,所述凸块与环形槽相连接。
优选的,所述固定板与调节螺杆相对的侧壁上固定连接有防滑垫。
一种等离子蚀刻机,包括上述的支撑底座。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
在对等离子刻蚀机进行使用时,首先根据地面的平整度转动调节环,使得凸块与环形槽进行分离,随后通过螺纹槽一与调节螺杆之间的螺纹连接,对调节螺杆进行转动,当调节到适当的高度时,再通过橡胶条回旋调节环,将凸块插入到环形槽当中,以此来防止地面不平整造成等离子刻蚀机的晃动的同时通过调节环进一步加强调节螺杆与连接柱的连接,以便于防止螺纹槽一与调节螺杆之间产生松动,进而影响等离子刻蚀机的正常使用。
附图说明
图1为本实用新型整体结构示意图;
图2为本实用新型支撑腿结构示意图;
图3为本实用新型支撑腿内部结构示意图;
图4为本实用新型图3中A处结构放大示意图。
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