[实用新型]一种支撑底座及等离子蚀刻机

权利要求书

1.一种支撑底座，其特征在于：所述支撑底座包括：

支撑腿(2)，所述支撑腿(2)设有四个，四个所述支撑腿(2)同一端固定连接有等离子刻蚀机(1)，每个所述支撑腿(2)的内部设有阻尼减震器(11)；

连接柱(3)，一端与支撑腿(2)相连接，所述连接柱(3)远离支撑腿(2)的一端侧壁上开设有螺纹槽一(10)和环形槽(12)；及

调节螺杆(5)，与连接柱(3)相连接，所述调节螺杆(5)连接有调节环(4)和固定板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种支撑底座，其特征在于：所述支撑腿(2)的内部开设有安装槽(8)，所述安装槽(8)远离等离子刻蚀机(1)的一端内壁上开设有通孔(9)。

3.根据权利要求2所述的一种支撑底座，其特征在于：所述阻尼减震器(11)的一端与安装槽(8)靠近离子刻蚀机(1)的一端内壁固定连接，所述阻尼减震器(11)的另一端与连接柱(3)位于安装槽(8)的一端固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种支撑底座，其特征在于：所述连接柱(3)的另一端竖向穿过通孔(9)，所述连接柱(3)通过螺纹槽一(10)与调节螺杆(5)的一端螺纹连接，所述螺纹槽一(10)位于环形槽(12)内侧。

5.根据权利要求1所述的一种支撑底座，其特征在于：所述调节环(4)套接在调节螺杆(5)的外壁上，所述调节环(4)的内圈开设有螺纹槽二(14)，所述调节环(4)的外圈侧壁上设有若干个均匀分布的橡胶条(13)。

6.根据权利要求1所述的一种支撑底座，其特征在于：所述调节环(4)靠近连接柱(3)的一端侧壁上固定连接有凸块(15)，所述凸块(15)呈环形，所述凸块(15)与环形槽(12)相连接。

7.根据权利要求1所述的一种支撑底座，其特征在于：所述固定板(6)与调节螺杆(5)相对的侧壁上固定连接有防滑垫(7)。

8.一种等离子蚀刻机，其特征在于：包括上述权利要求1-7中任意一项所述的支撑底座。