[实用新型]一种光学成像镜头及具有其的成像设备

说明书

本申请实施例公开了一种光学成像镜头及具有其的成像设备，所述光学成像镜头沿光轴从物侧至像侧依次包括：第一透镜、第二透镜、第一胶合透镜、第五透镜、第二胶合透镜、第三胶合透镜及第十透镜，其中，所述第一透镜、第二透镜及第二胶合透镜均具有正光焦度；所述第一胶合透镜、第五透镜、第三胶合透镜及第十透镜均具有负光焦度；所述第五透镜和第二胶合透镜之间设有光阑。根据本实用新型，该镜头具有大视场高分辨率等特点，同时能够有效缩小径向尺寸，减小镜头体积。

技术领域

本实用新型涉及光学成像领域，特别涉及一种光学成像镜头及具有其的成像设备。

背景技术

随着技术的进步与发展，许多形如液晶面板、晶圆等产品的质量需要进行缺陷检测，这类产品除了表面需要检测外，其边缘质量同样需要进行检测。

目前，例如晶圆等产品的边缘检测中不仅需要检测边缘，同时也需要检测边缘侧面的一小部分上下表面，为此相关公司研发了晶圆边缘检测技术，可以同时检测晶圆边缘以及边缘侧面的上下表面，为了能够同时拍摄边缘和侧面，镜头需要具有较大物方视场，同时为了提高检测精度，需要使用放大倍率镜头，通常满足物方大视场和放大倍率的镜头通常体积都很大，特别是径向尺寸，较大的体积最终导致检测装置整机的体积偏大，同时也导致检测装置不便于调试及小型化集成。

有鉴于此，实有必要开发一种径向尺寸小、高分辨率的光学成像镜头及具有其的成像设备。

实用新型内容

本申请的实施例提供一种光学成像镜头及具有其的成像设备，其能够保持大视场高分辨率的同时，将光学成像镜头的径向尺寸减小，以便于集成在小型设备以及调试维护。

为了解决上述技术问题，本申请的实施例公开了如下技术方案：

一方面，提供了一种光学成像镜头，沿光轴从物侧至像侧依次包括：

第一透镜、第二透镜、第一胶合透镜、第五透镜、第二胶合透镜、第三胶合透镜及第十透镜，

其中，所述第一透镜、第二透镜及第二胶合透镜均具有正光焦度；所述第一胶合透镜、第五透镜、第三胶合透镜及第十透镜均具有负光焦度；所述第五透镜和第二胶合透镜之间设有光阑。

除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第一透镜具有第一物侧面及第一像侧面，所述第一物侧面及第一像侧面均为凸面。

除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第二透镜具有第二物侧面及第二像侧面，所述第二物侧面及第二像侧面均为凸面。

除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第一胶合透镜由具有负光焦度的第三透镜和具有正光焦度的第四透镜胶合而成，

其中，所述第三透镜具有第三物侧面及第三像侧面，所述第三物侧面及第三像侧面均为凹面；

所述第四透镜具有第四物侧面及第四像侧面，所述第四物侧面及第四像侧面均为凸面。

除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第五透镜具有第五物侧面及第五像侧面，所述第五物侧面及第五像侧面的分别为凹面及凸面。

除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第二胶合透镜由具有正光焦度的第六透镜和第七透镜胶合而成，

其中，所述第六透镜具有第六物侧面及第六像侧面，所述第六物侧面及第六像侧面均为凸面；

所述第七透镜具有第七物侧面及第七像侧面，所述第七物侧面及第七像侧面分别为凹面及凸面。

除了上述公开的一个或多个特征之外，或者作为替代，所述第三胶合透镜由具有负光焦度的第八透镜和第九透镜胶合而成，

其中，所述第八透镜具有第八物侧面及第八像侧面，所述第八物侧面及第八像侧面分别为凹面及凸面；