[发明专利]滤波器及滤波器的形成方法

权利要求书

1.一种滤波器，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底包括第一区和第二区，所述第一区和第二区沿平行于衬底表面的第一方向排列；

位于衬底第一区上的至少两个第一叉指换能器，所述第一叉指换能器沿第一方向排列；

位于衬底第二区上的至少一个第二叉指换能器，所述第二叉指换能器沿第一方向位于所述衬底第一区的一侧；

位于衬底第一区上的第一总线层，所述第一总线层与所述第一叉指换能器电连接；

位于衬底第二区上的第二总线层，所述第二总线层与所述第二叉指换能器电连接；

所述第一总线层与所述第二总线层位于第一叉指换能器沿第二方向上的两侧，所述第一总线层与所述第二总线层位于第二叉指换能器沿第二方向上的两侧，其中，所述第二方向平行于衬底表面，且与所述第一方向垂直。

2.如权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述第一叉指换能器包括：第一汇流条，所述第一汇流条与所述第一总线层相连接；与所述第一汇流条相连接的若干第一叉指，若干所述第一叉指沿第一方向平行放置；第二汇流条，所述第二汇流条靠近所述第二总线层；与所述第二汇流条相连接的若干第二叉指，若干所述第二叉指沿第一方向平行放置；所述第一叉指与第二叉指沿第一方向交错放置。

3.如权利要求2所述的滤波器，其特征在于，所述第一总线层通过第一汇流条与第一叉指换能器电连接；还包括：位于第一汇流条上的第一导电层，所述第一导电层还位于部分第一叉指换能器上和部分第一总线层上。

4.如权利要求3所述的滤波器，其特征在于，所述第一导电层的厚度大于第一汇流条的厚度。

5.如权利要求4所述的滤波器，其特征在于，所述第一导电层的厚度范围为0.5微米~5微米。

6.如权利要求1所述的滤波器，其特征在于，还包括：位于第二汇流条上的第三导电层。

7.如权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述第二叉指换能器包括：第四汇流条，所述第四汇流条与所述第二总线层相连接；与所述第四汇流条相连接的若干第四叉指，若干所述第四叉指沿第一方向平行放置；第三汇流条，所述第三汇流条靠近所述第一总线层；与所述第三汇流条相连接的若干第三叉指，若干所述第三叉指沿第一方向平行放置；所述第三叉指与第四叉指沿第一方向交错放置。

8.如权利要求7所述的滤波器，其特征在于，所述第二总线层通过第四汇流条与第二叉指换能器电连接；还包括：位于第四汇流条上的第二导电层，所述第二导电层还位于部分第二叉指换能器上和部分第二总线层上。

9.如权利要求8所述的滤波器，其特征在于，所述第二导电层的厚度大于第四汇流条的厚度。

10.如权利要求9所述的滤波器，其特征在于，所述第二导电层的厚度范围为0.5微米~5微米。

11.如权利要求1所述的滤波器，其特征在于，还包括：位于第三汇流条上的第四导电层。

12.一种滤波器的形成方法，其特征在于，包括：

提供衬底，所述衬底包括第一区和第二区，所述第一区和第二区沿平行于衬底表面的第一方向排列；

在衬底上形成至少两个第一叉指换能器、至少一个第二叉指换能器、第一总线层和第二总线层，所述第一叉指换能器位于衬底第一区上，所述第一叉指换能器沿第一方向排列，所述第二叉指换能器位于衬底第二区上，所述第二叉指换能器沿第一方向位于所述衬底第一区的一侧，所述第一总线层位于第一区上，所述第一总线层与所述第一叉指换能器电连接，所述第二总线层位于第二区上，所述第二总线层与所述第二叉指换能器电连接；所述第一总线层与所述第二总线层位于第一叉指换能器沿第二方向上的两侧，所述第一总线层与所述第二总线层位于第二叉指换能器沿第二方向上的两侧，其中，所述第二方向平行于衬底表面，且与所述第一方向垂直。