[发明专利]一种用于磁控溅射的阴极装置

权利要求书

1.一种用于磁控溅射的阴极装置，包括壳体和靶材，所述壳体与磁控溅射仪的电源负极电性连接，其特征在于，还包括磁体组、磁体安装板和旋转驱动组件；

中空的圆柱状的所述壳体的底部设有敞口；

所述靶材、所述磁体组、所述磁体安装板和所述旋转驱动组件由下至上依次安装于所述壳体内；所述靶材的边缘的底面与所述敞口的边缘的顶面相抵，所述靶材的底面外露于所述敞口；

所述磁体组包括两个螺旋形磁体；所述螺旋形磁体为从圆心向圆周盘绕延伸的条形螺旋体，两个所述螺旋形磁体间隔并错位置放，所述螺旋形磁体的顶面抵接所述磁体安装板的底面；所述螺旋形磁体的底面和顶面分别为两个磁极端，两个所述螺旋形磁体的磁极方向相反，两个所述螺旋形磁体的底面所在平面与所述靶材的底面所在平面平行；

向下延伸的所述旋转驱动组件的驱动端与所述磁体安装板的顶面连接。

2.根据权利要求1所述的用于磁控溅射的阴极装置，其特征在于，还包括隔离板；

所述壳体包括由上至下依次排布的上盖板、筒体和固定环；

所述上盖板密封所述筒体的顶部；

中空的所述固定环的底面设有所述敞口；

所述固定环的内壁面与中空的所述筒体的底部的外壁面螺接；

所述隔离板的顶面抵于并密封所述筒体的底面；所述靶材的顶面与所述隔离板的底面相抵，所述靶材的底面与所述敞口的边缘的内底面相抵。

3.根据权利要求2所述的用于磁控溅射的阴极装置，其特征在于，所述隔离板为非磁屏蔽体。

4.根据权利要求1所述的用于磁控溅射的阴极装置，其特征在于，所述磁体安装板为导磁体。

5.根据权利要求1所述的用于磁控溅射的阴极装置，其特征在于，两个所述螺旋形磁体的外形尺寸相同，两个所述螺旋形磁体以所述磁体安装板的中心点为中心对称分布；

两个所述螺旋形磁体的侧面互相遮盖，未被另一所述螺旋形磁体遮盖的所述螺旋形磁体的侧面为所述螺旋形磁体的外周面，所述螺旋形磁体的外周面靠近所述壳体的内壁面。

6.根据权利要求2所述的用于磁控溅射的阴极装置，其特征在于，所述旋转驱动组件包括电机、传动轴、传动齿轮、从动齿轮、上支撑板和下支撑板；

所述筒体的内壁设有上下相隔并分别向内突出的第一凸台和第二凸台；

所述上支撑板的底面固定于所述第一凸台的顶面，所述下支撑板的底面固定于所述第二凸台的顶面；

所述电机的底部固定于所述下支撑板的顶面，所述电机的输出端向上延伸，所述传动齿轮套装于所述电机的输出端的外周面；

所述传动轴的上端可转动地固定于所述上支撑板的中部，所述传动轴的下端穿过所述下支撑板并与所述磁体安装板的顶面连接；所述从动齿轮卡装于所述传动轴的中部的外周面，所述传动齿轮与所述从动齿轮啮合。

7.根据权利要求6所述的用于磁控溅射的阴极装置，其特征在于，所述旋转驱动组件还包括两个轴承；

所述上支撑板的中部设有第一安装孔，所述第一安装孔贯穿所述上支撑板；

所述下支撑板的中部设有第二安装孔，所述第二安装孔贯穿所述下支撑板；

两个所述轴承的外环分别卡装于上下相隔并对正的所述第一安装孔和所述第二安装孔，两个所述轴承的内环分别上下相隔并可转动地卡装于所述传动轴的外周面，所述轴承的上端部外突于所述第一安装孔的上边缘的四周。