[发明专利]一种表面二级结构制备方法

权利要求书

1.一种表面二级结构制备方法，其特征在于：使用尖劈刻刀，该尖劈刻刀的侧棱带有阵列的侧棱微织构，使用尖劈刻刀在基板表面进行刻划成形微沟槽，并在刻划的同时通过侧棱微织构对槽面材料的挤出塑性成形，制备出微沟槽面上的二级结构。

2.根据权利要求1所述的表面二级结构制备方法，其特征在于：所述尖劈刻刀的材料为硬质合金、金刚石、PCD、高速钢或蓝宝石。

3.根据权利要求1所述的表面二级结构制备方法，其特征在于：所述侧棱微织构的制备方式包括激光加工、电火花线切割、超精密切削加工或电解加工加工方式。

4.根据权利要求1-3任一项所述的表面二级结构制备方法，其特征在于：使用尖劈刻刀进行刻划成形微沟槽时，尖劈刻刀保持固定的俯仰角。

5.根据权利要求4所述的表面二级结构制备方法，其特征在于：所述侧棱微织构为沿尖劈刻刀的侧棱表面形成的延伸结构，在使用尖劈刻刀进行刻划成形微沟槽时，所述侧棱微织构的延伸方向与刻划方向相一致。

6.根据权利要求5所述的表面二级结构制备方法，其特征在于：所述延伸结构的延伸方向与所述尖劈刻刀主体的延伸方向与俯仰角一致。

7.根据权利要求5所述的表面二级结构制备方法，其特征在于：所述刀具的两个侧棱之间的夹角为刀尖角，且刀尖角满足公式

式中：β为刀具刀尖角A，θ为刀具后角，α为刻划时的俯仰角B，ρ为最终槽形角度。

8.根据权利要求5所述的表面二级结构制备方法，其特征在于：

所述侧棱微织构的加工方法如下：将一定仰俯角下的刀具进给方向作为Z轴，调整尖劈刻刀角度，使主切削刃与Z轴夹角为仰俯角时，平行于进给方向的加工设备通过X轴、Y轴方向的伺服控制进行侧棱微织构切割加工。