[发明专利]一种长循环电致变色器件及其制作方法在审
| 申请号: | 202310597458.9 | 申请日: | 2023-05-25 |
| 公开(公告)号: | CN116590661A | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
| 发明(设计)人: | 张洪亮;王纯建;曹贞虎;曹鸿涛;宋坤润;胡克银;胡珊珊 | 申请(专利权)人: | 宁波祢若电子科技有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/58;C23C14/35;C23C14/54;G02F1/1524;G02F1/1523 |
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| 地址: | 315203 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 循环 变色 器件 及其 制作方法 | ||
1.一种长循环电致变色器件的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括以下步骤:
S1:分别提供沉积有铈掺杂氧化镍薄膜的第一导电基材和沉积有氧化钨薄膜的第二导电基材;
S2:将步骤S1提供的第一导电基材与第二导电基材通过密封胶进行贴合,并限定一空腔;将电解质通过真空灌注的方式,灌入所述空腔内,最后封装得到所述长循环电致变色器件;或者
将具有热固化或者光固化性质的电解质设置在步骤S1提供的第一导电基材与第二导电基材间,以获得所述长循环电致变色器件。
2.如权利要求1所述的长循环电致变色器件的制作方法,其特征在于,所述真空灌注的电解质为LiClO4@PC电解质或Al(ClO4)3@PC电解质;所述具有热固化或者光固化性质的电解质为锂离子基聚合物电解质。
3.如权利要求1所述的长循环电致变色器件的制作方法,其特征在于,所述第一导电基材上铈掺杂氧化镍薄膜的沉积方法包括步骤:
S11:将氧化铈和氧化镍颗粒混合均匀,装填于模具中,压制成型;经预烧处理后再进行高温烧结,得到铈掺杂氧化镍烧结靶材;
S12:将步骤S11得到的铈掺杂氧化镍烧结靶材,采用物理气相沉积方法在第一导电基材上进行沉积反应,得到沉积有铈掺杂氧化镍薄膜的第一导电基材。
4.如权利要求1所述的长循环电致变色器件的制作方法,其特征在于,所述第一导电基材上铈掺杂氧化镍薄膜的沉积方法还包括步骤S13:将步骤S12得到的第一导电基材在一定温度下对铈掺杂氧化镍薄膜进行后退火处理。
5.如权利要求1所述的长循环电致变色器件的制作方法,其特征在于,所述铈掺杂氧化镍薄膜的铈掺杂浓度为0.5~1.2%。
6.如权利要求3所述的长循环电致变色器件的制作方法,其特征在于,所述预烧处理的操作温度为800~900℃,高温烧结温度为1100~1300℃。
7.如权利要求4所述的长循环电致变色器件的制作方法,其特征在于,所述后退火温度为200~400℃。
8.如权利要求4所述的长循环电致变色器件的制作方法,其特征在于,在步骤S12中,所述物理气相沉积方法采用的是电子束蒸发技术,所述电子束蒸发技术的操作条件为:工作气压为小于1×10-3Pa,沉积功率为5~10kW,沉积速率为
9.如权利要求4所述的长循环电致变色器件的制作方法,其特征在于,在步骤S12中,所述物理气相沉积方法采用的是磁控溅射技术,所述磁控溅射技术的操作条件为:溅射工作气压0.5~5Pa,以Ar为工作气体,溅射功率密度为3.95~8W/cm2,溅射薄膜厚度50~500nm,溅射过程中衬底温度控制在100℃以下。
10.一种长循环电致变色器件,其特征在于,所述电致变色器件采用如权利要求1~9任一项所述的长循环电致变色器件的制作方法制作得到。
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