[发明专利]一种半导体器件测试用高效测试机台在审
申请号: | 202310513400.1 | 申请日: | 2023-05-09 |
公开(公告)号: | CN116500408A | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 蓝远东;蓝远锋;茹俊铭;蓝远昌 | 申请(专利权)人: | 深圳远东卓越科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/02;H05K7/20;B01D46/10;B01D46/681 |
代理公司: | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人: | 郑凯 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体器件 测试 高效 机台 | ||
1.一种半导体器件测试用高效测试机台,包括机架(1),其特征在于,所述机架(1)的内部设置有检测台(2),所述检测台(2)的上端设置有传送机构(20),所述机架(1)的上端固定有安装支架(3),所述安装支架(3)的上端固定有电机(4),所述电机(4)的主轴贯穿安装支架(3)并固定有调节杆(5),所述调节杆(5)为往复丝杆,所述调节杆(5)的周向侧壁螺纹转动连接有水平移动板(6),所述水平移动板(6)的底部固定有连接块(7),所述连接块(7)的底部固定有水平块(8),所述水平块(8)的内部设置有测试设备(9),所述安装支架(3)的内部固定有多个连接板(10),多个所述连接板(10)的底部共同固定有密封挡块(11),所述密封挡块(11)的上端和水平块(8)的内部共同设置有多组自动散热装置,所述机架(1)的内部设置有两组对称设置的限位夹紧装置。
2.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试用高效测试机台,其特征在于,所述安装支架(3)为U型架,所述连接块(7)为“回”型块,所述密封挡块(11)与连接块(7)内壁密封相抵,所述测试设备(9)位于传送机构(20)的正上方,所述水平移动板(6)与多个连接板(10)均贯穿滑动连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试用高效测试机台,其特征在于,所述自动散热装置包括与密封挡块(11)上端通过轴承转动连接有的从动齿轮(12),所述水平移动板(6)的底部通过轴承转动连接有竖直转杆(13),所述竖直转杆(13)的侧壁开设有滑动槽(14),所述从动齿轮(12)的内壁固定有限位块(15),所述限位块(15)与滑动槽(14)内壁相抵。
4.根据权利要求3所述的一种半导体器件测试用高效测试机台,其特征在于,所述竖直转杆(13)的底部贯穿密封挡块(11)并延伸至水平块(8)的内部,所述水平块(8)的底部开设有安装槽(17),所述竖直转杆(13)的周向侧壁固定有多个转板(18),所述转板(18)呈扇叶状,所述转板(18)位于安装槽(17)内部,所述安装槽(17)的内顶部贯穿开设有多个连接槽(19)。
5.根据权利要求4所述的一种半导体器件测试用高效测试机台,其特征在于,所述调节杆(5)的底部与密封挡块(11)上端通过轴承转动连接,所述调节杆(5)的周向侧壁固定有主动齿轮(16),多个所述从动齿轮(12)均与主动齿轮(16)啮合。
6.根据权利要求5所述的一种半导体器件测试用高效测试机台,其特征在于,所述密封挡块(11)的底部开设有圆形槽(21),所述圆形槽(21)的内壁固定有滤板(22),所述调节杆(5)的底部固定有连接杆(23),所述连接杆(23)的底部贯穿至圆形槽(21)内部并与滤板(22)上端相抵,所述连接杆(23)的周向侧壁固定有多个旋转刮板(24),所述圆形槽(21)的内部通过多个进气管(25)与外部连通。
7.根据权利要求1所述的一种半导体器件测试用高效测试机台,其特征在于,所述限位夹紧装置包括固定与机架(1)内顶部的竖直导向杆(26),所述竖直导向杆(26)的周向侧壁套设有竖直滑动块(27),所述竖直滑动块(27)的侧壁通过固定板(28)与连接块(7)侧壁固定连接,所述固定板(28)倾斜设置,所述机架(1)的端部贯穿滑动连接有多个水平限位杆(32),多个所述水平限位杆(32)的端部共同固定有抵紧板(29)。
8.根据权利要求7所述的一种半导体器件测试用高效测试机台,其特征在于,所述抵紧板(29)与检测台(2)上端相抵,所述抵紧板(29)的一端侧壁和竖直滑动块(27)的侧壁通过铰链共同转动连接有偏转块(30),所述抵紧板(29)的另一端侧壁固定有接触块(31),所述接触块(31)采用橡胶材料制成。
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