[发明专利]陶瓷坩埚质量检测设备在审
申请号: | 202310420788.0 | 申请日: | 2023-04-19 |
公开(公告)号: | CN116429889A | 公开(公告)日: | 2023-07-14 |
发明(设计)人: | 程波;王学云;高源 | 申请(专利权)人: | 烟台核晶陶瓷新材料有限公司 |
主分类号: | G01N29/04 | 分类号: | G01N29/04;G01B11/00 |
代理公司: | 北京中创博腾知识产权代理事务所(普通合伙) 11636 | 代理人: | 孙福岭 |
地址: | 264000 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 陶瓷 坩埚 质量 检测 设备 | ||
本发明涉及坩埚检测技术领域,具体为陶瓷坩埚质量检测设备,包括:检测桌;还包括:夹持组件,用于驱动陶瓷坩埚沿轴心转动;旋转组件,用于驱动夹持组件沿竖直方向转动;瑕疵检测设备,用于检测陶瓷坩埚的瑕疵;尺寸测量组件,用于测量陶瓷坩埚尺寸;测量组件移动装置。本发明,通过夹持组件可实现陶瓷坩埚轴心方向的自动旋转,通过超声波探头配合夹持组件可实现对陶瓷坩埚侧壁的瑕疵进行自动检测,利用夹持板对陶瓷坩埚进行夹持,再通过红外测距仪测量两款夹持板的距离,可得到陶瓷坩埚的高度,配合旋转组件对陶瓷坩埚的水平转动,可测量坩埚的外径,四个组件的相互配合可实现对坩埚各个数据的测量及瑕疵的检测,减少操作人员的工作量。
技术领域
本发明涉及坩埚检测技术领域,具体为陶瓷坩埚质量检测设备。
背景技术
陶瓷坩埚是坩埚的重要组成部分。陶瓷坩埚按原料可分为石英坩埚、刚玉坩埚、氮化硼坩埚、氧化锆坩埚等。陶瓷坩埚烧制完成后需要坩埚埚体进行检测,其检测指标有坩埚高度、外径、厚度等,还需要检查有无崩边、裂痕、气泡等。现有的工艺一般是在检测台上,对坩埚进行测量。由于检测指标较多,检测过程需要对坩埚进行多次翻转。现在的陶瓷坩埚埚尺寸越来越大,光伏行业单晶硅用到的石英坩埚尺寸已经达到36~40英寸,单只坩埚的外径达到900~1050mm,重量达到110~200kg,多次翻转测量对于操作人员来说,劳动强度太大,工作效率会降低。
鉴于此,我们提出陶瓷坩埚质量检测设备。
发明内容
为了弥补以上不足,本发明提供了陶瓷坩埚质量检测设备。
本发明的技术方案是:
陶瓷坩埚质量检测设备,包括:
检测桌,所述检测桌用于安装检测用设备;
还包括:
夹持组件,所述夹持组件用于夹持陶瓷坩埚并驱动陶瓷坩埚沿轴心转动;
旋转组件,所述旋转组件与夹持组件连接,用于驱动夹持组件沿竖直方向转动;
瑕疵检测设备,所述瑕疵检测设备安装在旋转组件内部,用于检测陶瓷坩埚的瑕疵;
尺寸测量组件,所述尺寸测量组件安装在检测桌顶面,用于测量陶瓷坩埚尺寸;
测量组件移动装置,所述测量组件移动装置用于驱动尺寸测量组件移动。
作为本发明的优选技术方案,所述检测桌包括工作台,所述工作台中心贯穿设有设备孔,所述夹持组件位于设备孔内,所述尺寸测量组件和测量组件移动装置位于工作台顶面。
作为本发明的优选技术方案,所述夹持组件包括主动辊和从动辊,所述主动辊和从动辊两端设有支架,所述主动辊前端穿过支架连接有第一动力源,所述第一动力源用于驱动主动辊。
作为本发明的优选技术方案,所述主动辊和从动辊前端之间设有双轴电机,所述双轴电机通过第一螺杆与支架连接,所述第一螺杆穿过支架设有第一限位块,所述第一限位块与旋转组件连接。
作为本发明的优选技术方案,其特征在于:所述旋转组件包括安装槽,所述安装槽包括齿圈槽、驱动齿轮槽和检测设备槽,所述瑕疵检测设备位于检测设备槽内,所述齿圈槽内设有大齿圈,所述第一限位块安装在大齿圈顶面。
作为本发明的优选技术方案,所述驱动齿轮槽内设有驱动齿轮,所述驱动齿轮与大齿圈连接,所述驱动齿轮下方设有第三动力源,所述第三动力源位于安装槽底面并且穿过安装槽与驱动齿轮连接。
作为本发明的优选技术方案,所述瑕疵检测设备包括超声波探头,所述超声波探头位于检测设备槽中部,所述超声波探头底部连接有液压油缸,所述液压油缸位于安装槽底面且穿过安装槽与超声波探头连接。
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