[发明专利]针对射束图像系统的开关矩阵设计

权利要求书

1.一种检测器，包括：

衬底，包括多个感测元件，所述多个感测元件包括第一元件和第二元件；以及

开关元件，被配置为连接所述第一元件与所述第二元件，

其中所述第一元件被配置为响应于所述第一元件检测到指示射束的第一带电粒子而生成第一信号，并且所述第二元件被配置为响应于所述第二元件检测到指示所述射束的第二带电粒子而生成第二信号，并且

其中所述开关元件被配置为基于所述第一信号和所述第二信号来被控制。

2.根据权利要求1所述的检测器，还包括：

传感器裸片，包括所述衬底；以及

电路裸片，包括所述开关元件和被配置为控制所述开关元件的一个或多个电路。

3.根据权利要求1所述的检测器，其中所述开关元件包括被配置为连接所述第一元件和所述第二元件的开关。

4.根据权利要求1所述的检测器，其中所述衬底包括二极管。

5.根据权利要求1所述的检测器，其中所述第一元件被配置为响应于所述第一元件接收到具有第一预定量的能量的第一带电粒子而生成所述第一信号，并且所述第二元件被配置为响应于所述第二元件接收到具有第二预定量的能量的第二带电粒子而生成所述第二信号。

6.根据权利要求1所述的检测器，其中所述第一元件被配置为响应于所述第一元件接收到具有第一预定量的能量的第一电子而生成所述第一信号，并且所述第二元件被配置为响应于接收到具有第二预定量的能量的第二电子而生成所述第二信号。

7.根据权利要求1所述的检测器，其中：

在厚度方向上，所述衬底包括：被配置为检测表面的顶部金属层，以及底部金属层，并且

在横截面中，在所述顶部金属层与所述底部金属层之间的区域是电荷载流子区域。

8.根据权利要求1所述的检测器，其中所述开关元件包括场效应晶体管，其中所述场效应晶体管至少包括在金属层中制造的栅极的接触件。

9.一种检测器，包括：

传感器层，包括感测元件阵列，所述感测元件阵列包括第一元件和第二元件，其中所述第一元件和所述第二元件邻近；

电路层，包括电连接到所述第一元件和所述第二元件的一个或多个电路，以及

开关元件，被配置为连接所述第一元件与所述第二元件，

其中所述一个或多个电路被配置为：

当所述第一元件接收到具有第一预定量的能量的带电粒子时，生成第一状态指示；

当所述第二元件接收到具有第二预定量的能量的带电粒子时，生成第二状态指示，以及

基于所述第一状态指示和所述第二状态指示控制所述开关元件。

10.根据权利要求9所述的检测器，其中所述开关元件包括晶体管。

11.根据权利要求9所述的检测器，其中所述电路层包括所述开关元件。

12.根据权利要求9所述的检测器，其中在所述衬底的横截面中，所述传感器层和所述电路层将所述开关元件夹在其中。

13.根据权利要求9所述的检测器，其中所述第一预定量的能量和所述第二预定量的能量是不同预定量的能量。

14.根据权利要求9所述的检测器，其中所述第一预定量的能量和所述第二预定量的能量是相同预定量的能量。

15.根据权利要求9所述的检测器，其中

所述一个或多个电路还包括栅极；并且

所述第一状态指示和所述第二状态指示被配置为到所述栅极的输入。