[发明专利]测厚校准方法、装置、设备和存储介质

权利要求书

1.一种测厚校准方法，用于测厚仪的校准，其特征在于，包括：

获取测厚仪对校准样片进行扫描得到的扫描数据，其中，所述扫描数据的数量为多个；

获取所述校准样片的标准数据；

基于所述扫描数据和所述标准数据确定扫描补偿量的标准差；

确定所述标准差是否满足第一预设校准规则；

若满足第一预设校准规则，基于所述扫描数据和所述标准数据确定所述扫描补偿量，并基于所述扫描补偿量修正所述测厚仪的扫描计算公式；

所述基于所述扫描数据和所述标准数据确定所述扫描补偿量，并基于所述扫描补偿量修正所述测厚仪的扫描计算公式之前，还包括：

计算所述扫描数据的欧式距离；

确定所述欧式距离是否符合第二预设校准规则；

若所述欧式距离符合第二预设校准规则，执行基于所述扫描数据和所述标准数据确定所述扫描补偿量，并基于所述扫描补偿量修正所述测厚仪的扫描计算公式的步骤；

若所述欧式距离不符合第二预设校准规则，不执行基于所述扫描数据和所述标准数据确定所述扫描补偿量，并基于所述扫描补偿量修正所述测厚仪的扫描计算公式的步骤，并发出告警信息。

2.根据权利要求1所述的测厚校准方法，其特征在于，所述确定所述标准差是否满足第一预设校准规则，包括：

确定所述标准差是否大于第一预设值；

若所述标准差大于所述第一预设值，确定满足第一预设校准规则；

若所述标准差小于或等于所述第一预设值，确定不符合第一预设校准规则，并结束校准，发出结构稳定提醒信息。

3.根据权利要求1所述的测厚校准方法，其特征在于，所述确定所述欧式距离是否符合第二预设校准规则，包括：

确定所述欧式距离是否小于或等于第二预设值；

若所述欧式距离小于或等于所述第二预设值，确定符合第二预设校准规则；

若所述欧式距离大于所述第二预设值，确定不符合第二预设校准规则。

4.根据权利要求3所述的测厚校准方法，其特征在于，所述扫描数据包括正行扫描数据和反行扫描数据，所述计算所述扫描数据的欧式距离，包括：

计算所述正行扫描数据的第一欧式距离；

计算所述反行扫描数据的第二欧式距离；

相应的，所述确定所述欧式距离是否小于或等于第二预设值，包括：

确定所述第一欧式距离和所述第二欧式距离是否均小于或等于第二预设值；

若所述第一欧式距离和所述第二欧式距离均小于或等于第二预设值，确定符合第二预设校准规则；

若所述第一欧式距离或所述第二欧式距离大于第二预设值，确定不符合第二预设校准规则。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的测厚校准方法，其特征在于，所述扫描数据包括正行扫描数据和反行扫描数据，所述正行扫描数据的数量为至少两个，所述反行扫描数据的数量为至少两个；所述基于所述扫描数据和所述标准数据确定所述扫描补偿量，包括：

基于所述正行扫描数据和所述标准数据确定正行扫描补偿量；

基于所述反行扫描数据和所述标准数据确定反行扫描补偿量；

相应的，所述基于所述扫描补偿量修正所述测厚仪的扫描计算公式，包括：

基于所述正行扫描补偿量通过下式修正所述测厚仪的扫描计算公式得到正行扫描计算公式：

；

其中，为修正得到的正行扫描计算公式，为修正前的扫描计算公式，为正行扫描补偿量；

基于所述反行扫描补偿量通过下式修正所述测厚仪的扫描计算公式得到反行扫描计算公式：

；

其中，为修正得到的反行扫描计算公式，为反行扫描补偿量。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的测厚校准方法，其特征在于，所述测厚仪包括测厚仪本体，测厚仪本体上设有射线检测窗口和样片驱动机构，所述样片驱动机构用于驱动校准样片运动至所述射线检测窗口；

所述获取测厚仪对校准样片进行扫描得到的扫描数据，包括：

控制样片驱动机构驱动校准样片运动至射线检测窗口；

获取所述射线检测窗口发出射线扫描所述校准样片得到的扫描数据。