[发明专利]一种具有多电极多压电层的超声换能器

权利要求书

1.一种具有多电极多压电层的超声换能器，其特征在于，所述超声换能器包括由上到下依次设置的七层结构，第一层结构和第五层结构均为纯电极层或复合电极层，第二层结构、第四层结构和第六层结构均为纯压电层，第三层结构和第七层结构均为复合电极层或纯电极层，所述复合电极层包括电极和绝缘间隙。

2.根据权利要求1所述的具有多电极多压电层的超声换能器，其特征在于，所述纯电极层和复合电极层均由电极组成，各所述电极属性相同，仅在尺寸上有差异，所述纯压电层由压电薄膜组成，各所述压电薄膜属性相同，仅在尺寸上有差异。

3.根据权利要求2所述的具有多电极多压电层的超声换能器，其特征在于，所述电极由导电材料制作，所述压电薄膜由具有压电效应的材料制作。

4.根据权利要求1所述的具有多电极多压电层的超声换能器，其特征在于，所述复合电极层中的电极和绝缘间隙依次间隔排列，且所述电极和绝缘间隙的尺寸和数量均是可变的。

5.根据权利要求4所述的具有多电极多压电层的超声换能器，其特征在于，所述复合电极层中的电极和绝缘间隙的俯视排列图为从左至右依次排列的矩形形状、从内向外依次排列的环形形状或从内向外依次排列的方环形形状。

6.根据权利要求1所述的具有多电极多压电层的超声换能器，其特征在于，所述超声换能器采用多端口差分信号方式驱动，所述复合电极层中的每一个电极都对应一个独立的差分信号端口信号线，相邻电极所接电信号极性相反，且电极之间不共连，所述纯电极层的电极连接电系统的公共端。

7.根据权利要求1所述的具有多电极多压电层的超声换能器，其特征在于，所述超声换能器采用多端口单端信号方式驱动，所述复合电极层中的每一个电极都对应一个独立的单端信号端口，相邻电极所接电信号极性相同，且电极之间不共连，所述纯电极层的电极连接电系统的公共端。

8.根据权利要求1所述的具有多电极多压电层的超声换能器，其特征在于，所述超声换能器的层叠结构数目根据实际情况为可变的，根据实际需求按照本发明描述的结构顺序进行更多层次的增加或更少层次的减少。

9.一种具有多电极多压电层的超声换能器的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括以下步骤：

S1：在基材上沉积一层蚀刻停止层；

S2：对沉积完一层蚀刻停止层的基材进行多次沉积和蚀刻，制作出所需包含基材和蚀刻停止层的超声换能器结构；

S3：通过蚀刻的方法，将制作的包含基材和蚀刻停止层的超声换能器结构中的基材和蚀刻停止层释放去掉，得到一种具有多电极多压电层的超声换能器。