[发明专利]可直接光刻的量子点、其制备方法及应用在审
申请号: | 202310140241.5 | 申请日: | 2023-02-08 |
公开(公告)号: | CN116042210A | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 樊军鹏;徐锐;章婷;钱磊 | 申请(专利权)人: | 宁波杭州湾新材料研究院;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | C09K11/02 | 分类号: | C09K11/02;H10K50/115;H10K71/20;B82Y20/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 王锋 |
地址: | 315000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 直接 光刻 量子 制备 方法 应用 | ||
1.一种可直接光刻的量子点的制备方法,其特征在于,包括:
提供表面配体以及初始量子点,所述初始量子点表面结合有初始配体;
采用合成过程中加入,或配体置换的方法,将所述初始量子点表面结合的初始配体置换为所述表面配体;
其中,所述表面配体包括锚定基团以及与所述锚定基团连接的碳链,所述碳链中包含联炔基团,所述锚定基团能够结合于量子点的表面,获得可直接光刻的量子点。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述碳链包括依次连接的第一烷基链、联炔基团以及第二烷基链;
优选的,烷基链和联炔基团具有多个循环;
优选的,所述碳链包括依次连接的第一烷基链、第一联炔基团、第二烷基链、第二联炔基团及第三烷基链。
所述第一烷基链与所述锚定基团连接。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述第一烷基链的碳原子数为2-10;
和/或,所述第二烷基链的碳原子数为2-12;
和/或,所述第三烷基链的碳原子数为2-12。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述锚定基团包括-COOH、-NH2、-SH、-PO3H2、-PHx、-OH、-SO3H中的任意一种,其中x的取值为1-2。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述表面配体包括2,4-十五碳二炔酸、4,6-十七碳二炔酸、5,7-十六碳二炔酸、10,12-十七碳二炔酸、10,12-二十三碳二炔酸,10,12-二十五碳二炔酸中的任意一种或两种以上的组合。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在量子点合成阶段将所述光敏配体替代部分原有配体进行表面钝化,所述光敏配体的摩尔占比为5mol%-100mol%,或将所述初始量子点分散于原始胶液中,向所述原始胶液中添加10-50倍过量的所述表面配体,以进行所述配体置换;
优选的,完成所述配体置换后,通过反溶剂法去除多余的所述表面配体;
优选的,所述配体置换的时间为1-6h。
7.一种可直接光刻的量子点,表面结合有表面配体;
其特征在于,所述表面配体包括锚定基团以及与所述锚定基团连接的碳链,所述碳链中包含联炔基团,所述锚定基团结合于量子点的表面。
8.一种图案化的量子点结构的制作方法,其特征在于,包括:
提供含有权利要求7所述的量子点的涂覆液;
使所述涂覆液涂覆成膜,获得前置量子点膜;
利用图案化掩模对所述前置量子点膜进行图案化光刻处理;
溶剂清洗去除未经光照的部分所述前置量子点膜,获得图案化的量子点结构。
9.根据权利要求8所述的制作方法,其特征在于,所述图案化光刻处理的波长范围为172—405nm;
和/或,所述前置量子点膜的厚度为20-100nm。
10.一种量子点光电器件,其特征在于,包括第一半导体层和第二半导体层,以及设置于所述第一半导体层和第二半导体层之间的量子点结构,所述第一半导体层和第二半导体层的导电特性相反;
所述量子点结构采用权利要求8—9中任意一顶所述的制作方法制作形成。
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