[发明专利]一种基于石墨烯的微环高线性度偏振无关电光调制器

权利要求书

1.一种基于石墨烯的微环高线性度偏振无关电光调制器，其特征在于，所述调制器固定在基底7上，具体包括2个模式转换耦合结构11、2个微环波导结构5、相位调制结构1、调制结构9、2个信号调制结构2、调制耦合结构3、调制耦合结构10和包含MZ可调分束器4。

2.根据权利要求1所述，其特征在于，该调制器可以实现TE、TM两种模式的调制，器件分为TE模调制区域和TM模调制区域。

3.根据权利要求3所述，其特征在于，模式转换耦合结构11包含锥形的模式转换器12和非对称定向耦合器13。

4.根据权利要求3所述，其特征在于，所述TE模调制区域和TM模调制区域都包含微环波导结构5，集成了相位调制结构1、9和信号调制结构2，并与调制耦合结构3保持固定的间距。

5.根据权利要求1所述，其特征在于，相位调制结构1、9的区别是石墨烯在微环中的所处位置不同，相位调制结构9的石墨烯是(c)所示的嵌入型，相位调制结构1的石墨烯是(e)所示的包裹型。

6.根据权利要求1所述，其特征在于，MZ可调分束器4、相位调制结构1、9均有2层六方氮化硼(hBN)14包裹石墨烯层15，石墨烯层15分别向远离波导一侧延伸，且分别与电极16、17和19相连。信号调制结构2和直流偏置8通过电极施加电信号和偏压。

7.根据权利要求1所述，其特征在于，所述调制器的波导材料为硅，基底7材料为二氧化硅。