[发明专利]一种测试座有效

专利信息
申请号: 202310048700.7 申请日: 2023-02-01
公开(公告)号: CN116027076B 公开(公告)日: 2023-06-30
发明(设计)人: 朱月月;陆建华;王宸星;陈喜凤;李佳雨 申请(专利权)人: 上海安其威微电子科技有限公司
主分类号: G01R1/04 分类号: G01R1/04;G01R31/312;G01R31/303
代理公司: 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 代理人: 王金双
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 测试
【权利要求书】:

1.一种测试座,其特征在于,包括,测试座主体、芯片导向框、探针固定板、以及介质层,其中,

所述芯片导向框,位于所述测试座主体的中间位置,用于放置待测芯片;

所述探针固定板,位于所述测试座主体的下部,用于固定探针;

所述探针固定板上,设置有与所述待测芯片的高频信号引脚相对应的缺口;

所述介质层,位于所述缺口中;

所述缺口为一个或多个,每一所述待测芯片的高频信号引脚均与所述缺口具有相对部分;

所述缺口与所述高频信号引脚正相对或具有错开部分;

所述介质层,在待测芯片的高频信号引脚与PCB板的焊盘之间形成平板电容;

所述探针固定板上还设有位于直流信号测试区域的直流探针;位于控制信号输入区域的控制探针;

所述探针采用弹簧针、异形针或者导电纸中的一种。

2.根据权利要求1所述的测试座,其特征在于,所述介质层与所述探针固定板采用相同或不同的材料。

3.根据权利要求1所述的测试座,其特征在于,所述介质层的材料选自氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳化硅、碳氮化硅、碳氮氧化硅、氮化硼和碳氮化硼中的一种或它们的任意组合。

4.根据权利要求1所述的测试座,其特征在于,所述介质层的周边与所述缺口贴合。

5.根据权利要求1所述的测试座,其特征在于,所述介质层的厚度与所述探针固定板的厚度相同。

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