[发明专利]密封组件和晶体生长设备

说明书

本发明公开了一种密封组件和晶体生长设备，密封组件包括第一密封件和第二密封件，第一密封件适于密封连接于开孔的周壁，且第一密封件限定出插配腔和连通腔，连通腔的顶部敞开设置，连通腔的底部与开孔连通，插配腔为环形且环绕连通腔设置，插配腔的顶部敞开设置，插配腔内适于盛放密封液体，第二密封件包括彼此相连的插配部和安装部，插配部为环形且插配于插配腔，插配部的下端适于伸入密封液体，安装部设于插配腔的上侧且用于封闭插配部，安装部用于安装功能组件。根据本发明的密封组件，结构简单、装配方便，且可以实现能相对生长室运动的功能组件的可靠密封安装。

技术领域

本发明涉及晶体生长技术领域，尤其是涉及一种密封组件和晶体生长设备。

背景技术

晶体生长是指物质在一定温度、压力、浓度、介质、pH等条件下由气相、液相、固相转化，形成特定线度尺寸晶体的过程；晶体生长的原理是基于物种晶相化学势与该物种在相关物相中化学势间准平衡关系的合理维持。

晶体生长设备中，一些功能组件例如用于安装籽晶的籽晶安装结构穿设于生长室的顶盖，且伸入生长室内；相关技术中，功能组件与生长室的顶盖之间的密封性难以保证，尤其是在功能组件可相对于生长室的顶盖运动的情况下，进一步增加了功能组件与生长室顶盖之间的密封困难性。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种密封组件，所述密封组件结构简单、装配方便，且可以实现能相对生长室运动的功能组件的可靠密封安装。

本发明还提出一种具有上述密封组件的晶体生长设备。

根据本发明第一方面实施例的密封组件，适用于需贯穿容纳功能组件的生长室的密封，其中，所述生长室包括形成有开孔的顶盖，所述开孔处穿设有功能组件，所述功能组件形成为柱状结构，所述密封组件包括：第一密封件，所述第一密封件适于密封连接于所述开孔的周壁，且所述第一密封件限定出插配腔和连通腔，所述连通腔的顶部敞开设置，所述连通腔的底部与所述开孔连通，所述插配腔为环形且环绕所述连通腔设置，所述插配腔的顶部敞开设置，所述插配腔内适于盛放密封液体；第二密封件，所述第二密封件包括彼此相连的插配部和安装部，所述插配部为环形且插配于所述插配腔，所述插配部的下端适于伸入所述密封液体，所述安装部设于所述连通腔的上侧且用于封闭所述插配部，所述安装部用于安装所述功能组件。

根据本发明实施例的密封组件，通过设置第一密封件和第二密封件，并使得第二密封件的插配部插配于第一密封件的插配腔，以使插配部的下端适于伸入密封液体内，以通过第二密封件和密封液体的配合将连通腔与外界环境隔开，从而实现功能组件的可靠密封安装，而且密封组件适用于功能组件能相对生长室运动的使用场景。

在一些实施例中，所述插配部的下端止抵于所述插配腔的底壁。

在一些实施例中，所述密封组件还包括：第三密封件，所述安装部形成有安装孔，以用于穿设所述功能组件，所述第三密封件适于套设于所述功能组件外，且所述第三密封件与所述安装孔处密封配合。

在一些实施例中，所述第三密封件包括第一密封部、第二密封部和第三密封部中的至少一个，所述第一密封部与所述安装孔的周壁密封配合，所述第二密封部环绕所述安装孔设置，且与所述安装部的顶面密封配合，所述第三密封部环绕所述安装孔设置，且与所述安装部的底面密封配合。

在一些实施例中，所述插配腔具有沿径向相对设置的第一周壁和第二周壁，所述插配部与所述第一周壁和所述第二周壁分别间隔设置。

在一些实施例中，所述第一密封件包括第一套筒部、第二套筒部和连接部，所述第一套筒部限定出所述连通腔，且适于密封连接于所述开孔的周壁，所述第二套筒部间隔套设于所述第一套筒部的外侧，所述连接部连接所述第一套筒部和所述第二套筒部，以使所述第一套筒部、所述第二套筒部和所述连接部共同限定出所述插配腔。