[发明专利]一种金刚石金属复合导热片的制备方法在审
| 申请号： | 202310022001.5 | 申请日： | 2023-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN116251955A | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 孟崇;黄莹华;鲍昭崇;黄毅;钱昭;李锴 | 申请（专利权）人： | 万龙时代科技有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/14 | 分类号： | B22F3/14;B22F1/18;B22F7/04;H01L23/373 |
| 代理公司： | 泉州劲翔专利事务所(普通合伙) 35216 | 代理人： | 黄燕玲;王小明 |
| 地址： | 362000 福建省泉*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 金属 复合 导热 制备 方法 | ||
1.一种金刚石金属复合导热片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
金刚石金属复合层的制备，将具有核壳结构的金刚石通过振动器分散排布在金属复合层上，并通过超声焊接将金刚石与金属复合层焊接成一体，形成二维密积排布结构的金刚石金属复合层；
金刚石金属复合导热片的制备，将多层金刚石金属复合层进行堆叠、真空热压烧结，形成金刚石金属复合导热片。
2.根据权利要求1所述的金刚石金属复合导热片的制备方法，其特征在于，振动器的水平振动幅度大于竖直振动幅度。
3.根据权利要求1所述的金刚石金属复合导热片的制备方法，其特征在于，振动器的频率为45HZ-55HZ，振动器的水平振动幅度为0.15mm-0.25mm，振动器的竖直振动幅度为0.02mm-0.08mm。
4.根据权利要求1所述的金刚石金属复合导热片的制备方法，其特征在于，金属复合层之上设置有热熔胶层，金刚石分布于该热熔胶层上。
5.根据权利要求1所述的金刚石金属复合导热片的制备方法，其特征在于，真空热压烧结包括第一升温阶段、第二升温阶段、保温阶段、第一降温阶段与第二降温阶段；其中，
第一升温阶段，在压力为0.9MPa-1.1MPa中，以升温速率为90℃/min-110℃/min升温至500℃，并在温度为500℃维持28s-32s；
第二升温阶段，在压力为4.9MPa-5.1MPa中，以升温速率为9℃/min-11℃/min，升温至超过金属复合层的熔点；
保温阶段，保温时间为4min-5min，压力为4.9MPa-5.1MPa；
第一降温阶段，降温速率为0.8℃/S-1.2℃/S，压力为4.9MPa-5.1MPa；
第二降温阶段，在压力为0.9MPa-1.1MPa中，以降温速率为2.8℃/S-3.2℃/S降温至300℃。
6.根据权利要求1所述的金刚石金属复合导热片的制备方法，其特征在于，超声焊接的频率为35KHZ-45KHZ，超声焊接时间为25s-35s。
7.根据权利要求1所述的金刚石金属复合导热片的制备方法，其特征在于，金刚石的体积占比≥80％。
8.根据权利要求1所述的金刚石金属复合导热片的制备方法，其特征在于，金属复合层的体积占比≤20％。
9.根据权利要求1所述的金刚石金属复合导热片的制备方法，其特征在于，金刚石为方晶金刚石。
10.根据权利要求1所述的金刚石金属复合导热片的制备方法，其特征在于，金刚石的粒径为25μm-600μm。
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