[发明专利]解决锗透镜类金刚石膜掉膜的方法在审
| 申请号： | 202310015269.6 | 申请日： | 2023-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN116219358A | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 梁献波;刘梦佳;刘克武 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/50;C23C16/02;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 239004 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 解决 透镜 金刚石 膜掉膜 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种解决锗透镜类金刚石膜掉膜的方法，其包括步骤：
步骤一，根据锗透镜的凹面做一个铝制凸起的垫块；
步骤二，将做好的铝制垫块进行喷砂烘烤；
步骤三，准备需要镀膜的锗透镜，擦拭干净，烘烤；
步骤四，将烘烤完的镜片放在垫块上，检查镜片和垫块的贴合度，确保镜片放在垫块上锗透镜边缘接触到腔体底板；
步骤五，将放好垫块和镜片的底板放入镀膜机进行镀膜，镀膜完成后，冷却后开门取出。
2.根据权利要求1所述的解决锗透镜类金刚石膜掉膜的方法，其特征在于，在步骤一中，垫块和锗透镜边缘的台阶平行。
3.根据权利要求1所述的解决锗透镜类金刚石膜掉膜的方法，其特征在于，在步骤三中，烘烤温度为85-100℃。
4.根据权利要求1所述的解决锗透镜类金刚石膜掉膜的方法，其特征在于，在步骤三中，烘烤时间为0.5h-1.5h。
5.根据权利要求1所述的解决锗透镜类金刚石膜掉膜的方法，其特征在于，在步骤五中，冷却40-60min。
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