[发明专利]光调制器及使用其的光发送装置

说明书

本发明提供一种光调制器，即便在光控制基板的作用部中的信号电极的宽度变窄的情况下，也能够可靠地进行信号电极与配线基板的信号配线之间的电连接。一种光调制器，包括：光控制基板(1)，具有至少包含将一个光波分支为两个的分支波导的光波导(OW)、及用于对所述分支波导施加电场的控制电极；以及配线基板，设置有对施加至所述控制电极的电信号进行中继的配线或终止所述电信号的配线，所述光调制器的特征在于，所述控制电极包括信号电极(S)，所述配线包括信号配线，在将所述信号电极(S)与所述信号配线电连接的部分(Sc)中，所述分支波导(OW)夹着所述信号电极的间隔(W1)比所述控制电极对所述分支波导施加电场的作用部分中的所述分支波导夹着所述信号电极的间隔(W2)宽。

技术领域

本发明涉及一种光调制器及使用其的光发送装置，尤其涉及一种如下光调制器，其包括：光控制基板，具有至少包含将一个光波分支为两个的分支波导的光波导、及用于对所述分支波导施加电场的控制电极；以及配线基板，设置有对施加至所述控制电极的电信号进行中继的配线。

背景技术

在光通信领域或光测量领域中，多使用利用了光控制基板的光调制器，所述光控制基板具有光波导、及对在所述光波导中传播的光波进行控制的控制电极。近年来，对光调制器要求宽频带化或小型化，例如，对一个光调制器同时施加多个不同的高频信号。

进而，在对包含调制电极的各控制电极施加电信号时，为了简化电气配线的处理，利用了中继基板。如图1及专利文献1所示，在从中继基板2到光控制基板1的电连接时，由于配线的容易度的关系，专门采用了引线接合WB。然而，在如96GBaud-800 G调制器等那样数十GHz以上、特别是超过100GHz的频率的光调制器中，引线接合的电信号的传播损耗增大。

另外，如图1所示，在使用多个控制电极(S1～S4)的情况下，从在配置有中继基板的光控制基板的侧边附近配置的各输入端口到达各控制电极的作用部(图1的点划线的左侧、箭头A所示的范围)为止的配线的长度不同，在各控制电极(各端口)间产生电特性的差异。

在图2中，为了实现光调制器的小型化，将光输入输出(Lin、Lout1、Lout2)部设置于光控制基板1的相同侧面。在此种光调制器中，关于所输入的电信号Sin，从各输入端口至各控制电极(S1～S4)的作用部(箭头A所示的部分)为止的范围在各控制电极间不同，与图1同样地产生电特性的差异。在图2中，仅以虚线示出了信号电极S。符号PD是用于对从光波导OW的合波部发射的放射光的一部分进行检测的光检测部件。

在沿着光控制基板的侧边配置中继基板时需要另外确保配置中继基板的空间，从而难以使收容光控制基板等的框体小型化。而且，在中继基板，用于阻抗调整的路径设计也需要空间，从而更难以实现小型化。

作为解决这些不良状况的方法，在专利文献2中也提出了以与光控制基板重叠的方式配置配线基板的结构。然而，在配线基板与光控制基板的电连接中，难以充分确保配线基板与控制电极、尤其是调制信号所涉及的信号配线与信号电极的电连接。即，如图2所示，在为了实现光调制器的小型化而使光波导急剧弯曲的情况下，为了增强光波导对光波的约束，提出了将光波导的宽度或厚度设定为1μm左右以下的薄板肋结构。因此，以夹着光波导的方式配置信号电极及接地电极的电极间的间隔越来越窄，信号电极自身的宽度也变得极窄，从而难以充分确保配线基板的信号配线与信号电极的连接部分的面积。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5494704号公报

专利文献2：日本专利特开2014-191250号公报

发明内容

发明所要解决的问题

本发明所要解决的课题为提供一种光调制器，其解决所述问题，且即便在光控制基板的作用部中的信号电极的宽度变窄的情况下，也能够可靠地进行信号电极与配线基板的信号配线之间的电连接。另外，为提供一种使用这些光调制器的光传送装置。