[实用新型]镀膜加工用的修正挡板有效
申请号: | 202223489436.0 | 申请日: | 2022-12-23 |
公开(公告)号: | CN218951485U | 公开(公告)日: | 2023-05-02 |
发明(设计)人: | 谢志 | 申请(专利权)人: | 广东启辰光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/54 | 分类号: | C23C14/54;C23C14/04 |
代理公司: | 北京易捷胜知识产权代理有限公司 11613 | 代理人: | 李丽敏 |
地址: | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 工用 修正 挡板 | ||
本实用新型涉及镀膜加工装置技术领域,具体公开了镀膜加工用的修正挡板,包括尺寸相同的上挡板和下挡板,上挡板和下挡板上下重叠在一起,上挡板包括第一挡板和第二挡板,下挡板的中部设有若干定位槽,下挡板的两端设有限位滑槽,定位槽的一侧设有刻度线,第一挡板和第二挡板的中部均设有与定位槽对应的通孔,第一挡板和第二挡板的两端均设有与限位滑槽适配的限位杆,通过定位杆穿过通孔插入定位槽内,使第一挡板和第二挡板可沿限位滑槽在下挡板上方横向向外移动。本实用新型结构简单、使用方便,通用性强,无需准备多种不同宽度的修正挡板,也无需频繁更换修正挡板,有效降低生产成本,降低人工成本和劳动强度,满足产业需求。
技术领域
本实用新型涉及镀膜加工装置技术领域,具体涉及镀膜加工用的修正挡板。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
现有的真空镀膜机在镀膜的过程中,需要用到修正挡板调整待镀膜产品的镀膜厚度以及镀膜区域,但目前的修正挡板大多是固定的形状大小,通用性不强,仅能针对同一种镀膜产品和镀膜条件,无法适应不同要求的生产加工过程,例如,在蒸镀设计值100纳米过程中,修正挡板的宽度为450mm,由于遮挡过多,按原设计值进行加工后,实际加工值只有75纳米,想要达到设计值100纳米,需镀133.33纳米左右,需要更多的蒸镀时间,导致加工效率变低。
针对此现象,通常需要更换与其适配的修正挡板,来达到预期效果,但此方法操作过于繁琐,需要提前准备多种不同宽度的修正挡板进行备用,导致生产成本增加,且在不同条件下使用时,需要频繁的更换适配的修正挡板,增加了人工成本和劳动强度,无法满足产业需求。
实用新型内容
针对上述现有技术的缺陷,本实用新型提供镀膜加工用的修正挡板,结构简单、使用方便,通用性强,无需准备多种不同宽度的修正挡板,也无需频繁更换修正挡板,有效降低生产成本,降低人工成本和劳动强度,满足产业需求。
为实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:
镀膜加工用的修正挡板,包括尺寸相同的上挡板和下挡板,上挡板和下挡板上下重叠在一起,上挡板包括左右并排设置的第一挡板和第二挡板,下挡板的中部设有六个横向均匀分布的定位槽,下挡板的两端设有横向设置的限位滑槽,定位槽的一侧设有与其分布方向相同的刻度线,第一挡板和第二挡板的中部均设有与定位槽对应的通孔,第一挡板和第二挡板的两端均设有与限位滑槽适配的限位杆,通过定位杆穿过通孔插入定位槽内,使第一挡板和第二挡板可沿限位滑槽在下挡板上方横向向外移动,而刻度线设有用于标注定位杆插入每个定位槽时,第一挡板和第二挡板由下挡板向外伸出的尺寸。
上述说明中,作为优选,所述定位杆的上端设有盖帽,盖帽的直径大于通孔的直径,盖满可盖合在通孔上,对通孔进行遮挡。
上述说明中,作为优选,所述上挡板和下挡板均呈中间宽两端窄的形状。
本实用新型所产生的有益效果是:限位杆插入限位滑槽内,第一挡板和第二挡板可通过限位滑槽,向外伸出,且限位滑槽可防止第一挡板和第二挡板移动时,出现转动,通过定位杆穿过通孔插入定位槽内,固定第一挡板和第二挡板向外伸出的位置,而刻度线设有用于标注定位杆插入每个定位槽时,第一挡板和第二挡板由下挡板向外伸出的尺寸,根据所需的挡板宽度,通孔沿刻度线找到对应的定位槽位置,定位杆穿过通孔插入定位槽内,调整第一挡板和第二挡板向外伸出的尺寸,可有效增加遮挡范围,使其适配不同条件下所需的宽度,结构简单,使用方便,通用性强,无需准备多种不同宽度的修正挡板,也无需频繁更换修正挡板,有效降低生产成本,降低人工成本和劳动强度,满足产业需求。
附图说明
图1:为本实用新型之实施例的结构示意图;
图2:为本实用新型之实施例的第一挡板和第二挡板伸出状态结构示意图;
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