[实用新型]镀膜加工用的修正挡板有效

专利信息
申请号: 202223489436.0 申请日: 2022-12-23
公开(公告)号: CN218951485U 公开(公告)日: 2023-05-02
发明(设计)人: 谢志 申请(专利权)人: 广东启辰光电科技有限公司
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;C23C14/04
代理公司: 北京易捷胜知识产权代理有限公司 11613 代理人: 李丽敏
地址: 523000 广东省东莞市*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 镀膜 工用 修正 挡板
【说明书】:

实用新型涉及镀膜加工装置技术领域,具体公开了镀膜加工用的修正挡板,包括尺寸相同的上挡板和下挡板,上挡板和下挡板上下重叠在一起,上挡板包括第一挡板和第二挡板,下挡板的中部设有若干定位槽,下挡板的两端设有限位滑槽,定位槽的一侧设有刻度线,第一挡板和第二挡板的中部均设有与定位槽对应的通孔,第一挡板和第二挡板的两端均设有与限位滑槽适配的限位杆,通过定位杆穿过通孔插入定位槽内,使第一挡板和第二挡板可沿限位滑槽在下挡板上方横向向外移动。本实用新型结构简单、使用方便,通用性强,无需准备多种不同宽度的修正挡板,也无需频繁更换修正挡板,有效降低生产成本,降低人工成本和劳动强度,满足产业需求。

技术领域

本实用新型涉及镀膜加工装置技术领域,具体涉及镀膜加工用的修正挡板。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有的真空镀膜机在镀膜的过程中,需要用到修正挡板调整待镀膜产品的镀膜厚度以及镀膜区域,但目前的修正挡板大多是固定的形状大小,通用性不强,仅能针对同一种镀膜产品和镀膜条件,无法适应不同要求的生产加工过程,例如,在蒸镀设计值100纳米过程中,修正挡板的宽度为450mm,由于遮挡过多,按原设计值进行加工后,实际加工值只有75纳米,想要达到设计值100纳米,需镀133.33纳米左右,需要更多的蒸镀时间,导致加工效率变低。

针对此现象,通常需要更换与其适配的修正挡板,来达到预期效果,但此方法操作过于繁琐,需要提前准备多种不同宽度的修正挡板进行备用,导致生产成本增加,且在不同条件下使用时,需要频繁的更换适配的修正挡板,增加了人工成本和劳动强度,无法满足产业需求。

实用新型内容

针对上述现有技术的缺陷,本实用新型提供镀膜加工用的修正挡板,结构简单、使用方便,通用性强,无需准备多种不同宽度的修正挡板,也无需频繁更换修正挡板,有效降低生产成本,降低人工成本和劳动强度,满足产业需求。

为实现上述目的,本实用新型所采用的技术方案是:

镀膜加工用的修正挡板,包括尺寸相同的上挡板和下挡板,上挡板和下挡板上下重叠在一起,上挡板包括左右并排设置的第一挡板和第二挡板,下挡板的中部设有六个横向均匀分布的定位槽,下挡板的两端设有横向设置的限位滑槽,定位槽的一侧设有与其分布方向相同的刻度线,第一挡板和第二挡板的中部均设有与定位槽对应的通孔,第一挡板和第二挡板的两端均设有与限位滑槽适配的限位杆,通过定位杆穿过通孔插入定位槽内,使第一挡板和第二挡板可沿限位滑槽在下挡板上方横向向外移动,而刻度线设有用于标注定位杆插入每个定位槽时,第一挡板和第二挡板由下挡板向外伸出的尺寸。

上述说明中,作为优选,所述定位杆的上端设有盖帽,盖帽的直径大于通孔的直径,盖满可盖合在通孔上,对通孔进行遮挡。

上述说明中,作为优选,所述上挡板和下挡板均呈中间宽两端窄的形状。

本实用新型所产生的有益效果是:限位杆插入限位滑槽内,第一挡板和第二挡板可通过限位滑槽,向外伸出,且限位滑槽可防止第一挡板和第二挡板移动时,出现转动,通过定位杆穿过通孔插入定位槽内,固定第一挡板和第二挡板向外伸出的位置,而刻度线设有用于标注定位杆插入每个定位槽时,第一挡板和第二挡板由下挡板向外伸出的尺寸,根据所需的挡板宽度,通孔沿刻度线找到对应的定位槽位置,定位杆穿过通孔插入定位槽内,调整第一挡板和第二挡板向外伸出的尺寸,可有效增加遮挡范围,使其适配不同条件下所需的宽度,结构简单,使用方便,通用性强,无需准备多种不同宽度的修正挡板,也无需频繁更换修正挡板,有效降低生产成本,降低人工成本和劳动强度,满足产业需求。

附图说明

图1:为本实用新型之实施例的结构示意图;

图2:为本实用新型之实施例的第一挡板和第二挡板伸出状态结构示意图;

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东启辰光电科技有限公司,未经广东启辰光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202223489436.0/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top