[实用新型]一种微蚀刻药液循环系统

权利要求书

1.一种微蚀刻药液循环系统，其特征在于：装置设有用于蚀刻的主槽体和存放药液的副槽体，所述主槽体上方开口并置于溢流盘上，所述溢流盘通过回流管与副槽体连接，所述副槽体通过设有气动泵和电磁阀的送液管道连接主槽体，并向主槽体内注入药液。

2.根据权利要求1所述的微蚀刻药液循环系统，其特征在于：所述溢流盘在副槽体的上方，所述溢流盘底部设有排水口，所述回流管一端连接在排水口上，另一端延伸至副槽体的上方。

3.根据权利要求2所述的微蚀刻药液循环系统，其特征在于：所述主槽体的上沿设有一排溢流孔，所述溢流孔的高度位置相同，所述主槽体的每个面上均设有溢流孔。

4.根据权利要求1、2或3所述的微蚀刻药液循环系统，其特征在于：所述送液管道的一端连接至主槽体底部或侧面下部位置，所述送液管道的另一端连接至副槽体底部或侧面下部位置。

5.根据权利要求4所述的微蚀刻药液循环系统，其特征在于：系统设有控制器，所述控制器连接并输出驱动信号至气动泵和电磁阀。

6.根据权利要求5所述的微蚀刻药液循环系统，其特征在于：所述控制器的输出端连接有显示设备和控制按键，所述副槽体内设有液位传感器和药剂检测电子组件，所述液位传感器和药剂检测电子组件连接并输出感应信号至控制器。

7.根据权利要求6所述的微蚀刻药液循环系统，其特征在于：所述主槽体的上沿固定有感应是否有玻璃进出主槽体的感应器，所述感应器连接并输出感应信号至控制器。