[实用新型]一种微蚀刻药液循环系统

说明书

本实用新型揭示了一种微蚀刻药液循环系统，装置设有用于蚀刻的主槽体和存放药液的副槽体，所述主槽体上方开口并置于溢流盘上，所述溢流盘通过回流管与副槽体连接，所述副槽体通过设有气动泵和电磁阀的送液管道连接主槽体，并向主槽体内注入药液。本实用新型可以在超薄玻璃微蚀刻时药液不循环，超薄玻璃出主槽体时自动开启药液循环，满足批量蚀刻时药液的循环要求，同时对超薄玻璃的面蚀刻过程无恶化影响，产品可以大规模投产，保证良好的制程稳定性，而且系统结构简单，装备成本低，且工作安全、温度可靠。

技术领域

本实用新型涉及蚀刻技术领域。

背景技术

当前折叠屏的使用方案为柔性材料或是超薄玻璃材料，而柔性材料的使用寿命及耐刮擦能力远不如超薄玻璃，因而未来的折叠屏发展趋势会向以超薄玻璃作为柔性盖板，进行模组的组装及量产。

为了提升当前超薄玻璃盖板的面强度，多采用高温熔融状态下硝酸钾进行钠钾离子置换，从而达到化学钢化的目的，但此种方案进行后由于钢化后产品应力增加，产品膨胀，造成产品表观微裂纹，导致玻璃表面的耐冲击强度大大下降，但通过面内的微蚀刻技术可以有效钝化玻璃面内裂纹及崩边，批量蚀刻时，药液长期静置均匀性持续变差，蚀刻不良增加，面蚀刻时药液波动又会导致超薄玻璃在酸液中难以站立，易卷曲，造成玻璃表面蚀刻不均，夹具印，凹点，脏污，板厚不良等不良，大大降低了玻璃在本段加工的良率。

例如公开号为CN202359203U，公开日为2012年8月1日，专利名称为《微蚀刻液再生回收系统》的公开文献，公开的微蚀刻液再生回收系统，包括：电解槽，电解槽的一侧依次设置有循环槽和预处理槽，循环槽与电解槽管道连通，循环槽与电解槽之间设置有抽送泵，电解槽与循环槽之间通过一个侧壁隔开，且该侧壁上开设有溢流口；预处理槽与循环槽管道连通，预处理槽与循环槽之间设置有抽送泵。

公开文献虽然能够进行循环使用，但是系统结构相对复杂，会极大增加投入成本，也会影响系统工作的可靠性。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是实现一种简单可靠的微蚀刻药液循环系统，可以应用于超薄柔性玻璃的微蚀刻生产。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种微蚀刻药液循环系统，装置设有用于蚀刻的主槽体和存放药液的副槽体，所述主槽体上方开口并置于溢流盘上，所述溢流盘通过回流管与副槽体连接，所述副槽体通过设有气动泵和电磁阀的送液管道连接主槽体，并向主槽体内注入药液。

所述溢流盘在副槽体的上方，所述溢流盘底部设有排水口，所述回流管一端连接在排水口上，另一端延伸至副槽体的上方。

所述主槽体的上沿设有一排溢流孔，所述溢流孔的高度位置相同，所述主槽体的每个面上均设有溢流孔。

所述送液管道的一端连接至主槽体底部或侧面下部位置，所述送液管道的另一端连接至副槽体底部或侧面下部位置。

系统设有控制器，所述控制器连接并输出驱动信号至气动泵和电磁阀。

所述控制器的输出端连接有显示设备和控制按键，所述副槽体内设有液位传感器和药剂检测电子组件，所述液位传感器和药剂检测电子组件连接并输出感应信号至控制器。

所述主槽体的上沿固定有感应是否有玻璃进出主槽体的感应器，所述感应器连接并输出感应信号至控制器。

本实用新型可以在超薄玻璃微蚀刻时药液不循环，超薄玻璃出主槽体时自动开启药液循环，满足批量蚀刻时药液的循环要求，同时对超薄玻璃的面蚀刻过程无恶化影响，产品可以大规模投产，保证良好的制程稳定性，而且系统结构简单，装备成本低，且工作安全、温度可靠。

附图说明

下面对本实用新型说明书中每幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：

图1为微蚀刻药液循环系统原理图；