[实用新型]一种全自动硅芯生长设备

权利要求书

1.一种全自动硅芯生长设备，包括炉体(3)，所述炉体(3)上设有提拉组件(9)，所述炉体(3)内自上而下依次设置有籽晶夹头组件(14)、坩埚(4)、热场部件(2)，所述籽晶夹头组件(14)包括籽晶托盘、籽晶夹头，所述提拉组件(9)与籽晶托盘相连，提拉组件(9)可驱动籽晶托盘在炉体(3)内升降，籽晶托盘上安装若干籽晶夹头，其特征在于，所述籽晶夹头组件(14)还包括籽晶旋转部件，所述籽晶旋转部件安装在籽晶托盘上，籽晶旋转部件与若干籽晶夹头相连，籽晶旋转部件可驱动若干籽晶夹头转动。

2.根据权利要求1所述的一种全自动硅芯生长设备，其特征在于，所述全自动硅芯生长设备还包括CCD影像系统(10)，所述CCD影像系统(10)安装在炉体(3)上。

3.根据权利要求2所述的一种全自动硅芯生长设备，其特征在于，所述全自动硅芯生长设备还包括自动控制单元(12)，所述自动控制单元(12)分别与提拉组件(9)、籽晶旋转部件、CCD影像系统(10)相连。

4.根据权利要求3所述的一种全自动硅芯生长设备，其特征在于，所述全自动硅芯生长设备还包括电控柜(13)、图像处理装置(11)，所述自动控制单元(12)、图像处理装置(11)都安装在电控柜(13)上，所述图像处理装置(11)分别与CCD影像系统(10)、自动控制单元(12)相连。

5.根据权利要求1所述的一种全自动硅芯生长设备，其特征在于，所述全自动硅芯生长设备还包括坩埚升降部件(1)，所述坩埚升降部件(1)连接在坩埚(4)一端，所述热场部件(2)设于坩埚(4)外围。

6.根据权利要求1所述的一种全自动硅芯生长设备，其特征在于，所述炉体(3)内设有水冷保护套(6)，所述水冷保护套(6)配合安装在籽晶旋转部件上。

7.根据权利要求6所述的一种全自动硅芯生长设备，其特征在于，所述炉体(3)上设有绕线结构(8)，所述绕线结构(8)与籽晶旋转部件配合连接。

8.根据权利要求1所述的一种全自动硅芯生长设备，其特征在于，所述炉体(3)上设有观察窗口。

9.根据权利要求8所述的一种全自动硅芯生长设备，其特征在于，所述炉体(3)上还设有观察转动机构，所述观察转动机构与观察窗口相连，观察转动机构可驱动观察窗口转动。

10.根据权利要求1所述的一种全自动硅芯生长设备，其特征在于，所述全自动硅芯生长设备还包括籽晶保护装置，所述籽晶保护装置设于炉体(3)内，籽晶保护装置安装在籽晶夹头外围。