[实用新型]晶圆存储库

权利要求书

1.一种晶圆存储库，其特征在于，包括立库、设置于立库中部的移载机构、设置于立库的天车口和设置于立库的人工口；

所述立库中设置有若干库位，所述库位用于放置晶圆盒；

所述移载机构包括：天轨、地轨、立柱和多关节机械手，其中所述多关节机械手滑动连接于所述立柱的一侧面，所述立柱的一端与所述天轨滑动连接，所述立柱的另一端与所述地轨滑动连接，所述天轨和所述地轨分别设置于所述立库的内部巷道中；

所述天车口中设置有至少一个第一传送机台，所述第一传送机台包括第一箱体和第一传送机构，其中所述第一箱体设置于天车口且部分悬空突出在所述立库的外侧中，且所述第一箱体在两端的上表面设置有对应的第一晶圆暂存位置和第二晶圆暂存位置，所述第一晶圆暂存位置用于在所述天车口与位于所述移载机构进行晶圆盒交换时的暂存，所述第二晶圆暂存位置用于在所述天车口与位于所述立库外的空中运输小车进行晶圆盒交换时的暂存，所述第一传送机构设置于所述第一箱体的内部，所述第一传送机构用于在所述第一晶圆暂存位置与所述第二晶圆暂存位置之间运动以将晶圆盒从一个晶圆暂存位置搬运到另一个晶圆暂存位置；

所述人工口中设置有至少一个第二传送机台，所述第二传送机台包括第二箱体和第二传送机构，所述第二箱体设置于人工口中，且所述第二箱体在两端的上表面设置有对应的第三晶圆暂存位置和第四晶圆暂存位置，所述第三晶圆暂存位置用于在所述人工口与位于所述移载机构进行晶圆盒交换时的暂存，所述第四晶圆暂存位置用于在所述人工口与位于所述立库外的地面机器人进行晶圆盒交换时的暂存，所述第二传送机构设置于所述第二箱体的内部，所述第二传送机构用于在所述第三晶圆暂存位置与所述第四晶圆暂存位置之间运动以将晶圆盒从一个晶圆暂存位置搬运到另一个晶圆暂存位置。

2.根据权利要求1所述的晶圆存储库，其特征在于，所述天轨的下方两侧设置有导向轨道，所述立柱的一端通过至少两个行进轮与设置于所述天轨的下方两侧导向轨道滑动连接，其中所述至少两个行进轮与所述导向轨道配合以使所述立柱的一端与所述天轨滑动连接。

3.根据权利要求2所述的晶圆存储库，其特征在于，所述导向轨道的截面为L型结构，所述至少两个行进轮之中的第一行进轮沿所述导向轨道竖直摆放以使所述第一行进轮抵接于L型结构的一个面滑动，所述至少两个行进轮之中的第二行进轮沿所述导向轨道水平摆放以使所述第二行进轮抵接于L型结构的另一个面滑动。

4.根据权利要求1所述的晶圆存储库，其特征在于，所述移载机构还包括以下至少一种检测器：

第一光电检测器，设置于所述多关节机械手的载盘前端，用于所述多关节机械手检测库位上是否存有晶圆盒；

第二光电检测器，设置于所述多关节机械手的载盘后端第一侧，用于检测所述多关节机械手的载盘上是否存有晶圆盒；

第三光电检测器，设置于所述多关节机械手的载盘后端第二侧，用于检测所述多关节机械手的载盘是否已位于库位的载盘上方；

第四光电检测器，设置于所述多关节机械手的载盘后端第二侧，用于检测所述多关节机械手的载盘是否位于库位的载盘下方；

按压型检测器，设置于所述多关节机械手的载盘上表面，用于检测放置于所述多关节机械手的载盘上的晶圆盒是否放平；

和/或，所述移载机构还包括以下至少一种限位传感器：

第一限位传感器，设置于所述地轨的侧面，用于对所述立柱和/或所述多关节机械手在巷道水平方向上的极限位置进行限位感应；

第二限位传感器，设置于所述立柱的侧面，用于对所述多关节机械手在巷道高度方向的极限位置进行限位感应。