[实用新型]一种用于高纯晶硅生产废水回用的处理装置

权利要求书

1.一种用于高纯晶硅生产废水回用的处理装置，其特征在于，包括旋流沉砂池、膜直滤过滤器、RO装置、回用水箱、污泥处理器和蒸发结晶装置，其中所述膜直滤过滤器上设有药剂投加装置，并且其进水端与所述旋流沉砂池连通，产水端与所述RO装置连通，污泥端与所述污泥处理器连通；所述RO装置的产水端与所述回用水箱连通，浓水端与所述蒸发结晶装置连通。

2.根据权利要求1所述的用于高纯晶硅生产废水回用的处理装置，其特征在于，还包括污泥收集池和过滤器产水箱，所述污泥收集池设置于所述膜直滤过滤器与所述污泥处理器之间，所述过滤器产水箱设置于所述膜直滤过滤器与所述RO装置之间。

3.根据权利要求2所述的用于高纯晶硅生产废水回用的处理装置，其特征在于，还包括pH调节装置和pH回调装置，所述pH调节装置与所述膜直滤过滤器连接，所述pH回调装置设于所述膜直滤过滤器与所述过滤器产水箱之间。

4.根据权利要求2所述的用于高纯晶硅生产废水回用的处理装置，其特征在于，还包括依次连接于所述过滤器产水箱与所述RO装置之间的RO加药装置和RO保安过滤器。

5.根据权利要求4所述的用于高纯晶硅生产废水回用的处理装置，其特征在于，还包括连接于所述过滤器产水箱与所述RO加药装置之间的RO给水泵、以及连接于RO保安过滤器和所述RO装置之间的RO高压泵。

6.根据权利要求1所述的用于高纯晶硅生产废水回用的处理装置，其特征在于，还包括RO浓水箱，所述RO浓水箱设于所述RO装置与所述蒸发结晶装置之间。

7.根据权利要求1所述的用于高纯晶硅生产废水回用的处理装置，其特征在于，还包括原水提升泵、污泥提升泵和蒸发结晶提升泵，所述原水提升泵设于所述旋流沉砂池的进水端，所述污泥提升泵设于所述污泥处理器的进水端，所述蒸发结晶提升泵设于所述蒸发结晶装置的进水端。

8.根据权利要求1所述的用于高纯晶硅生产废水回用的处理装置，其特征在于，所述膜直滤过滤器的膜组件采用抗污染管袋膜、管式膜、高效细管膜、中空纤维微滤膜或平板膜。